二维金属光栅的矢量模式研究.pdfVIP

维普资讯 第 31卷第6期 光电工程 V0l1．31．No．6 2004年 6月 to—Electronic Engineerin June，2004 文章编号：1003．501X (2004)06—0014—03 二维金属光栅的矢量模式研究 秦 涛，石建平，陈旭南 (中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室，四川 成都 610209) 摘要：用矢量模式场来描述二维金属光栅各层中的电磁场。由边界条件，推导出模式场方程组： 借助反射透射系数阵递推算法，得出了方程组的解。这种矢量模式方法物理概念清晰且稳定收敛， 可以处理任意偏振态平面波入射到二维亚波长金属光栅中的衍射 问题。 关键词：二维金属光栅；矢量模式；反射透射 系数阵 中图分类号： TN256 文献标识码：A Studyonvectormodeof2-D metalgratings QINTao，SHIJianp·ing，CHENXun·an (StateKeyLaboratoryofOpticalTechnologiesfo，．Microfabrication，Instituteof OpticsandElectronics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China) Abstract：Electromagneticfieldinvariouslayersof2一D metalgratingscanbedescribedwithvector modefield．Modefieldequation setisderivedfrom boundaryconditions．Thesolutionoftheequation setisobtainedbymeansofreflectiontransmittancecoefficientmatrix algorithm．Physicalideaofthe vectormethodisclear,stableandconvergent．Thediffractionproblem ofplanewavewithpolarization incidentupon2一D sub—wavelengthmetalgratingscanbeprocessed． Keywords：Two—dimensionmetalgratings；Vectormode；Reflectiontransmittancecoefficientmatrix 引 言 随着微细加工工艺的发展和二元光学应用领域的拓展，周期性二元光学元件光栅的特征尺寸不断缩小， 其结构也变得越来越复杂，从单周期光栅到双周期交叉光栅，从介质光栅到金属光栅，从单层光栅到多层 。 当光栅特征尺寸即周期小于入射波长时，称为亚波长光栅 。对亚波长光栅问题只能用严格的矢量理论来处 理 。由于光栅问题没有解析解，只能作数值处理 。在光栅问题的精确数值计算方法中，目前普遍认为最好 的是傅立叶模方法 。其基本方法是 ：把光栅分成若干个平行光栅层 ，在每一光栅层中的基本模式场通过解 耦合波方程或本征方程的方法来确定，解的形式是无穷级数的截断结果，各层中的电磁场解是这些基本模 式场的线性叠加，其叠加系数就是基本模式场的振幅系数，利用分层界面处的边界条件可得关于振幅系数 的线性方程组。在求振幅系数时，RTCM(Reflectiontransmittancecoefficientmatrix)递推算法 ¨具有快速，稳 定的特点。对一维金属光栅问题，标量模式法可以满足要求 ；而在处理二维情况时，特别是任意偏振态入 射时，标量模式法却显得过于复杂，且计算结果常常不收敛 。Chen在计算理想无厚的频率选择平面时，提 出了矢量模式 方法，运用此方法可大大简化二维金属光栅计算过程 。 由于金属对光波具有绝缘效应，光波不能进入理想导体中