光学衍射法细圆柱体直径测量的不确定度.pdfVIP

维普资讯 第 32卷第7期 光电工程 v01．32．No．7 2005年7月 Opto—ElectronicEngineering July，2005 文章编号：1003—501X(2005)07—0055—04 光学衍射法细圆柱体直径测量的不确定度 崔建文，张 军，唐文彦，李慧鹏 (哈尔滨工业大学 自动化测试与控制系，黑龙江 哈尔滨 150001) 摘要：为了提高光学衍射法细圆柱体直径测量精度，用递归法建立 了更精确的改进模型。运用改 进模型测量细圆柱体直径时，克服 了传统测量模型由衍射角引起的原理误差，提高了测量精度。 光源的波长误差、暗条纹位置误差和透镜焦距调整误差均会产生测量不确定度，使用改进模型时 的计算值分别为0．024~tm，1．920~m和0．529~m。细圆柱体直径测量实验结果表明，基于改进模型 的光学衍射法的相对测量误差在 0．5％以下，优于 目前 l％的水平；测量不确定度小于2um，与理 论分析相一致 。 关键词：直径测量；圆柱体测量；夫琅和费衍射；测量误差 中图分类号：0436，1 文献标识码：A Uncertaintyofthincylinderdiametermeasured bymeansofopticaldiffraction CUIJian-wen，ZHANGJun，TANGW en-yan，LIHui-peng (DepartmentofAutomationMeasurementandControlEngineering， HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China) Abstract：To improvemeasurementaccuracyofthin cylinder’Sdiameterby opticaldiffraction，an improved modelisestablished with recursive method，which ismoreaccurate．Theoreticalerrorof customary modelcreated by diffraction angle iseliminated SO thatthe measurementaccuracy is improvedwhenthediameterismeasuredwiththeimprovedmodel，Theuncertaintyofmeasurementis createdbythreecases，namelythewavelength erroroflight．source，positionerrorofdark fringeand adjustmenterroroffocallengthoflens．Theuncertaintyerrorsduetoabovethreecasesare0．024~tm， 1．920~tm and0．529~tm respectivelycalculatedwiththeimprovedmode1．Experimentalresultsshow that therelativemeasurementerroriSlessthan0．5％，which iSbetterthan thepresentlevelofl％，and uncertaintyofmeasurementislessthan2um，whichagreeswellwiththeoreticalanalysis． Keywords：Diametermeasurement；Cylindricalmeasurement；Fraunhoferdiffraction；Measuringerrors { 引 P -- I 光衍射就是光波在传播过程中遇到障碍物时改变了波前的复振幅分