基于多项式曲面拟合的TFT-LCD斑痕缺陷自动检测技术.pdfVIP

维普资讯 第33卷第 l0期 光电工程 Vo1．33．No．10 2006年 l0月 Opto-ElectronicEngineering Oct．2006 文章编号：l003—501X(2006)10—0108—07 基于多项式曲面拟合的TFT-LCD 斑痕缺陷自动检测技术 张 昱，张 健 (哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150001) 摘要：在液晶显示器的各种视觉缺陷中，斑痕缺陷的检测是最为复杂的问题，尚未能有效解决 为了实现 自动化作业，提出了一种新的斑痕缺陷检测方法 在图像分割中，提出了一种基于最小 二乘法多项式曲面拟合技术的背景建模方法。利用该背景模型，可以将可能含有斑痕缺陷的图像 区域从复杂背景中分割出来。在特征提取中，综合考虑了目标区域的对比度、面积、位置、轮廓、 形状和亮度均匀性等特征量，建立了一种新的虎痕缺陷模型。在模式识别中，设计了基于规则的 模糊分类器。该方法可以充分利用检测人员的经验和知识从而获得与人类观察者心理特点相一致 的检测 果 。 关键词 TFT-LCD；斑痕缺陷检测；多项式曲面拟合；模糊分类器 中图分类号：TP182 文献标识码：A AutomaticbleInishinspectionforTFT_LCD basedonpolynom ialsurfacefitting ZHANGYu，ZHANG Jian (InstituteofUltraPrecisionOpticalElectronicInstrumentEngineering， HarbinInstituteofTechnology，Harbinl5000l，China) Abstract：AmongvariousvisualdefectsofLCD，“blemish’’detectionisthemostcomplexproblem that hasnotbeensolvedeffectively．A new blemishinspectionmethodforTFT-LCD isproposed．Inimage segmentation，abackgroundmodelingmethodbasedonpolynomialsurfacefittingusingleastsquare methodispresented．Utilizingthisbackgroundmodel，candidateareaofblemishcouldbesegmented from thepanelimageby backgroundsubtraction．Infeatureextraction．anew “blemish’’modelis proposed，whichtakesseveralfeaturesintoaccount，suchasthecontrast，area，location，outline，shape andtheluminanceuniformityoftheobject．Inpatternrecognition，afuzzyclassifierisdesigned．This methodcouldwellemploytheexperiencesandknowledgeofoperators．Therefore，gooddetectionresult iSobtained．whichiSconsistentwithhumanintuition． Keywords：TFT-LCD；Blemishinspe