基于双频光栅的微分干涉相衬方法.pdfVIP

第38卷第6期 光电工程 V0ll_38．NO．6 2011年 6月 Opto-ElectronicEngineering June．20l1 文章编号：1003—501X(2011)06—0078—06 基于双频光栅的微分干涉相衬方法 莘雪成 1,2，张雨东 ，李国俊 ，王 炯 1,2，罗先刚 (1．中国科学院光电技术研究所 微细加工光学技术国家重点实验室，成都 610209； 2．中国科学院研究生院，北京 100049) 摘要：针对传统微分干涉相衬技术对双折射性物体成像会有伪像的问题，用双频闪耀光栅取代传统微分干涉相衬 的分光元件诺曼斯基棱镜，设计 了一种微分干涉相衬方法。对双频闪耀光栅设计，模拟入射平面波通过它之后的 光强分布，结果表明它能产生两束剪切角很小的光。用双频光栅微分干涉相衬方法对纯相位样品模拟成像，仿真 结果和物体的相位轮廓一致。分析 了微分干涉相衬中的相移量和剪切量对成像对比度的影响，加入相移量会明显 提高成像图像的对比度，而剪切量越小图像对比度越高。 关键词：微分干涉相衬；双频光栅；剪切量；相移量 中图分类号：0438 文献标志码：A doi：10．3969~．issn．1003．501X．2011．06．013 DiffeFentialInterfeFenceContrastM ethod BasedonBi-frequencyGrating XINXue．cheng一，ZHANGYu．dong，LIGuo-jun， WANG Jiong ，LUO Xian．gang1 (1．StateKeyLabofOpticalTechnologiesforMicrofabrication， InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyofScience，Chengdu610209，China； 2．GraduateUniversityofChineseAcademyofSciences，Beoing100049，China) Abstract：AnewDifferentialInterferenceContrast(DIC)methodisproposedbasedontheDICtheorybyreplacingthe twoNomarskiprismsofconventionalDIC withbi—rfequencyblazedgratings，whichovercomesthedrawbacksofartifacts intheconventionalDIC technology．TheBi-rfequencyblazedgatinghasbeendesigned，andintensitydistributionsof planewavethroughthegratingalsohavebeennumericallysimulated．Thepurephaseobjectanditsimagearesimulated byutilizinggratingDIC，andtheimageagreeswiththephaseprofilesofobjectverywel1．Analysisoftheinfluenceof shearandbiasonthecontrastofimagedemonstratesthatimagecontrastisobviouslyenhancedwhenabiasretardationis introduced，andthesmallershear,thehighercontrast． Keywor