偏振分光镜传输系数不等对非线性误差的影响.pdfVIP

维普资讯 第 32卷第9期 光 电工程 Vo1．32，No．9 2005年 9月 to-ElectronicEngineering Sept，2005 文章编号：1003—501X(2005)09—0027—04 偏振分光镜传输系数不等对非线性误差的影响 钟 志，谭久彬 ，陈洪芳，单明广 (哈尔滨工业大学 超精密光 电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150001) 摘要：为了减小激光外差干涉非线性误差，必须考虑偏振分光镜透过率扣反射率不等对非线性误 差的影响。通过分析两臂透过率与反射率不等对测量信号的影响，推导出两臂反射率与透过率不 等对激光外差干涉非线性误差一次谐波和二次谐波影响的理论模型。仿真结果表明，透过率与反 射率不等将严重的影响非线性误差一次谐波的大小，当反射率为 l而透射率由 I变为0．85时，其 非线性误差由0、56nm增加到 2．03nm，同时非线性误差只是一次谐波和二次谐波的简单叠加 。仿 真结果表明调整偏振分光镜的旋转角度误差能够有效的消除两臂透过率与反射率不等对非线性误 差的影响。为进一步指导调整减小或消除非线性误差提供 了理论依据。 关键词：激光外差干涉；非线性；传输系数；偏振分光镜：二次谐波 中图分类号：TN247 文献标识码 ：A Nonlinearityfrom differencebetweentransmissioneoeffieients0fPBSin laserheterodyneinterferometer ZHONGZhi，TANJiu-bin，CHEN Hong-fa．ng，SHANM ing-guang (InstituteofUltra-preciseOptoelectronicInstrumentEngineering， HarbinInstituteofTechnology，Harbin15000l，Ch ) Abstract：Differentrtansmissioncoe衔cientsofpolarizedbeam spliuer(PBS1indifferentdirections seriously affect the nonlinearity in laser heterodyne interferometer．Nonlinearity resulting from differencebetween rtansmi ssion coefficientsin theory iSanalyzed．and themodelsofnonlinearity resultingrfom differentrtansmi ssioncoefficientswithellipticalpolarizedandrotationangelsofPBSare proposed．T11esimulationresultsshow differentrtansmi ssioncoe fficientsonlyaffectthefirst—harmonic nonlinearity．W ith aconsatntroattionangleofPBS．whenthereflectivityislandthertansmi ssivity rdeucerfom 1t00．85，htenonlineariyt increaserfom 0．56nm to2．03nm，andhtenonlinearityiSsimple superposingoffirsthramonicandsecond—harmonic．W henreducehteerrorofroattionangleofPBS，hte nonlinearityr