扫描振镜幅频特性测试及位置标定的研究.pdfVIP

维普资讯 第 31卷 增刊 光 电工程 Vo1．31，Sup 2004年 12月 ElectronicEn~ineerin Dec，2004 文章编号：1003—501X(2004)Sup一0073—03 扫描振镜幅频特性测试及位置标定的研究 王先起 一，廖 胜 ，黄建明 ，2 (1．中国科学院光电技术研究所 ，四川 成都 610209； 2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘要：介绍了扫描振镜及其驱动电路的结构特点，分析了位置信号在扫描振镜系统中的作用。利 用数据采集系统对扫描振镜的幅频特性进行了测试，借助图像采集系统和图像处理方法对扫描振 镜的位置进行了标定，验证了振镜系统中位置信号与振镜的偏转角的线性关系。 关键词：扫描振镜：幅频特性；位置标定；驱动电路 中图分类号：TN15 文献标识码：A Testofamplitude·frequencyperformanceand positiondemarcati0n0fanopticalscanner WANGXian-qi ，LIAoSheng，HUANGJian-ming (1．TheInstituteofOpticsandElectronics，theChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China； 2．GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences，Beijing10o039，China) Abstract：A briefcommentaryoftheconfigurationcharacterofhteopticalscanneranditscircuitof selTodriver，andhteanalysisofhteroleofhtepositionsignalinhtescannersystem raepresentedinhte paper．Astohteamplitude一~equencyperformanceofhteopticalscanner,somemeasurementshavebeen madewiht adata acquisition system．With the help of image acquisition system and hte image processing method，htedeflection angle ofhteopticalscannerisdemracated．Andalso hte linera relationshipbetweenpositionsignalanddeflectionangleofhteopticalscannerisvalidated． Keywords：Opticalscnaner；Amplitude一~equencyperfomr ance；Positiondemracating；Drivecircuit 引 言 扫描器种类很多，有多面转镜扫描器、压电扫描器、振镜扫描器 (检流计)等，在激光雕刻、激光投影、 激光电视、生物医学、半导体工艺等领域中获得了广泛的应用。多面转镜虽然具有扫描速度快、扫描角度 大、回扫快和速度稳定性高等优点，但也有半径差引起的非线性误差和各小面不平行度引起的塔形误差． 会影响扫描精度。压电扫描器中没有相对滑动运动，扫描运动是逆压电变形和弹性变形共同作用的结果 。 工作过程是一种弹性变形的过程，不会出现机械扫描中出现的摩擦、晃动等情况，因而可达到较高的精度 和重复性，但其电路控制部分比较复杂。扫描振镜 (振镜扫描器)由于是单面的，绕反射面的中心轴摆动， 不存在半径差和塔形误差，因而与多面转镜相比有较高的扫描精度，且电