声光调制器模型辨识及光功率控制系统设计.pdfVIP

维普资讯 I 第29卷第5期 光 电工程 ．Vo1．29，No．5 2002年 10月 Opto—ElectronicEngineering Oct．2002 文章编号：1003—501X(2002)05—0012—03 声光调制器模型辨识及光功率控制系统设计 · 刘玉玲 (浙江大学光 电信息工程学系，浙江 杭州 310027) 摘要：保证激光直写系统中曝光光功率的稳定和连续可调对所制作的二元器件的性能具有重要意 义。利用MABLAB工具对声光调制器的数学模型进行辨识，得到声光调制器的传递函数。并借助于 MABLAB的SIMULINK工具箱，设计出控制系统的仿真模型，得到实用的控制系统。实验结果表明 AR模型很好地反映了声光调制器的特性，所设计的控制系统响应速度快，控制精度高。 关键词：声光调制器；数学模型；激光控制系统；激光直写系统；。--IL光学 中图分类号 ：TN65 文献标识码：A IdentificationofAcousto-OpticModulatorModeland DesignofControlSystem forLightPower LIU Yu-ling (DepartmentofInstrumentScienceandEngineering, ZhejiangUniversity，Hangzhou310027，China) Abstract：Stabilityandcontinuousadjustmentofexposurelightsourcepowerinlaserdirectwriting system have important significance in mna ufacturing ofbinary devices．Trna sfer function of na acousto·o·pticmodulatorisobminedthrough Identificationofthemahtematicalmodelofacousto·o·ptic modulatorbyusingMABLAB too1．BymeansofS ULⅡK toolboxforMABLAB．thesimulation modelofrtheconrtolsystem isdesignedandapracticalconrtolsystem isobmined．Theexperimental resultsshow thatAR modelreflectshtepropertiesofhteacousto—opticmodulatorin awellmode．Tlle designedconrtolsystem hashteadvantagesoffastresponsespeednadhighconrtolaccuracy． Keywords：Acousto—Opticalmodulators；M ahtematicalmodels；Laserconrtolsystems； La serdirect writingsystems；Binaryoptics 言 ’ 引 口 激光直接写入系统是制作二元光学掩模和二元光学元件的主要手段之一。利用聚焦后的激光束扫描曝 光基片表面的感光层，通过对曝光强度的调制，可得到连续衍射光学元件和二元光学元件。 系统使用的激光器是输出波长为441．6nm氦镉激光器。由测量可知，该氦镉激光器的功率输出有2O一3O ％的起伏，这对二元器件的加工极其不利。若要在整个基片上加工出深度、宽度一致的线条，必须能够动 态连续地调节曝光光强，且在同一环带的曝光过程中，保持曝光光强恒定。光功率控制的精度将直接影响 加工器件的质量。本文研究了声光调制