提高高速压电倾斜镜应用带宽的方法.pdfVIP

第36卷第7期 光 电工程 V_0l-36．No．7 2009年 7月 Opto—ElectronicEngineering July,2009 文章编号：1003—501X(2009)07—0060-05 提__C同__jl_．同-．口lL__。速压电倾斜镜应用带宽的方法 朱 衡 1a,2，陈东红 la,lb，凌 宁la,lb，姜文汉 la,lb (1．中国科学院 a．光电技术研究所 自适应光学研究室； b．自适应光学重点实验室，成都 610209； 2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘要：本文提出了一种基于薄板径向支撑的高速压电倾斜镜。首先根据拉格朗日方程建立了这种基于薄板径向支 撑的高速压电倾斜镜简化模型的动力学方程，然后推导出了其倾斜方向谐振频率理论表达式；根据理论表达式可 以预测倾斜镜的动态性能。在理论分析的基础上，我们制作了这种薄板结构，将其加入到原有结构倾斜镜中，进 行了频响测试以及角行程测试分析。比较理论分析和实验测试分析的结果，证实了薄板部件的加入对于倾斜镜应 用带宽的提高有显著作用。 关键词：高速压电倾斜镜；薄板径向支撑；动力学分析； 自适应光学系统 中图分类号：0439 文献标志码：A doi：10．3969~．issn．1003—501X．2009．07．012 A M ethodforIncreasingtheAppliedBandwidthof PiezoelectricFastSteeringM irror ZHUHeng _，CHENGDong．hong ’ ，LING Ning ，曲，JIANGW en．han ， (1．a．TheLaboratoryonAdaptiveOptics，InstituteofOpticsandElectronics； b．TheKeyLaboratoryonAdaptiveOptics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China； 2．GraduateSchoolofChineseAcademyofSciences，Beijing100039，China) Abstract：AnewmethodtoincreasetheappliedbandwidthofpiezoelectricFastSteeringMirror(FSM)isproposed． Firstly,accordingtotheLagrangeEquation，dynamicequationforsimplifiedmodelofthisFSM wasbuiltbasedonradial fastenthinplane．Then，thefinaltheoreticalexpressionofthesteeringresonantrfequencywasdeducedforpurposeof predictingthedynamicalperformanceoftheFSM ．Onthebaseofthetheoreticalresults，wefabricatedthisstructureof thin plane，added itto the originalFSM and tooktherfequency—responseand angle-stroke experiments．Both the experimentalresultsna dtheoreticalanalysisresultsprovesthattheradialfastenthinplaneisusefulinincreasingthe appliedbandwidtho