基于VCM的低频主动隔振系统的分析与实现.pdfVIP

计《量s铡试技拳》∞ 年第38卷第5期 基于 VCM 的低频主动隔振系统的分析与实现 TheAnalysisandImplementationoftheVCM ——basedLow——frequency ActiveVibrationIsolationSystem 舒迎 飞 张 辉 (合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽 合肥230009) 摘 要：随着微 ／纳米加工、测量对环境稳定性要求的进一步提升，实用的精密、低频隔振技术显得 日益重要。本文从基于VCM的低频主动隔振系统的 动力学模型和隔振对象的位移频响函数出发，借助Matl~软件分析、仿真了隔振对象的质量、音圈电机与隔振对象的质量比以及音圈电机的阻尼比对 主动隔振系统的影响。并介绍了该低频隔振系统的驱动硬件和控制软件的设计。 关键词：VCM；低频；主动隔振；位移响应函数 1 引言 分别为音圈电机的等效刚度系数和等效阻尼系数。 是 近年来，随着微／纳米技术的蓬勃发展，加工、测量都 音圈电机线圈上的电磁力，。和 。分别为线圈和顶杆的 要求一个稳定的环境，以提高加工、测量精度。然而振动 绝对位移。其动力学方程为： 干扰无处不在 ，如室外交通、室 内人员走动、机械设备运 m ‘ f 转等造成的振动干扰。由大地产生的振动频率约为(0．i 一 10)Hz，实验室人员走动所产生的振动频率约为(1—3) 山[ 1 ．_j 。。 Hz，一般建筑物的振动频率约在(10～too)Hz之间。而 ￡ I 且这些振动都很难彻底消除，所以振动的抑制与隔离就 尤为重要。 } ， } 振动的抑制与隔离方法有多种，如：增加隔振对象的 重量，提过构件刚度 ，减少振动和振幅；合理选择工作频 图 1 音圈电机的动力学模型 率，避免工作在共振频率区；安装减震装置，加入吸振器 c {。){x，o。I一{--。。Ca—cca。J)L『 或特殊吸振材料等。按是否构成反馈控制可以将振动隔 Xa ] 离技术分为被动和主动隔振技术。 被动隔振技术应用较早，技术成熟，有大量的应用案 一 ka-- ) 例。主要采用弹簧、空气弹簧或吸振橡胶等被动吸振元 将音圈电机用于主动隔振系统中，由于音圈电机的 件来隔离振动干扰源与隔振对象，以达到振动抑制、隔离 顶杆与隔振对象是固定链接，且 相对于隔振对象的质 的效果。 量 m可以忽略不计。从而得到如图2所示的二自由度振动 主动隔振技术是在振动干扰源与隔振对象之间加入 系统。图2中的 和 c分别为被动隔振元件的刚度系数和 主动吸振器，并引入反馈环节，构成闭环反馈控制。采用 阻尼系数，和 u分别为隔振对象和基础在垂直方向的绝 主动响应的方式，吸收由振动干扰源带来的扰动，尽量降 对位移，厂d为音圈电机作用于隔振对象的主动力。 低从振动干扰源到隔振对象的振动能量传递率。根据所 采用的主动吸振元件的不同，又可分成：压电陶瓷式、电 流变液式、磁流变液式、压