基于WykoNT1100表面轮廓仪的光纤端面检测.pdfVIP

徐兵：基fWykoNTllO0表面轮廓仪的竞纤端面捡铡。 基于WykoNT1100表面轮廓仪的光纤端面检测 TestingtheEndsofOpticalFibersSurfaceProfilerbyWykoNT1100 徐 兵 (陕西理工学院物电学院，陕西 汉中723000) 摘 要：采用表面轮廓仪测定了光纤和湿法刻蚀加工的单模与多模光纤端面粗糙度，并与光学显微镜检测的结果进行了对 比。结果表明：表面轮廓仪 表适合检测光纤端面及刻蚀加工后的三维特征，反映湿法刻蚀加工光纤端面的刻蚀深度和微腔形貌。 关键词：光学轮廓仪 ；光纤端面；粗糙度；湿法刻蚀 表面粗糙度反映了表面轮廓的微观不平，精确测量 作过程中切勿使物镜与样品接触，以免损坏物镜镜头和 表面形貌，不仅是研究其与使用性能关系的基础，也是正 样品，最好在调焦前根据样品与镜头最近距离调节好调 确识别、监控其形成工艺过程的依据 。依据 GB／T3505— 焦限位螺丝，在手动调焦过程 中物镜远离而非接近样品 2ooo产品几何技术规范表面结构轮廓法表面结构的术 表面。 语、定义及参数》的规定，轮廓参数主要有三个：轮廓的总 (4)调节轮廓仪光源强度，使得 Vision程序 Intensity 高度 、轮廓的算术平均偏差 、轮廓的均方根差 。 菜单窗口中亮度刚好不饱和(饱和时显示为红色)。 如无特别说明，本文粗糙度均指轮廓的算术平均偏差 (5)在Vision程序设置好测试选项文件，根据所选 亿。光纤在切割或加工后端面的粗糙度，不仅影响其表 物镜 目镜设置好放大倍率。根据不同的表面选择测量模 面反射率，而且决定光纤熔接或制作非本征型光纤法 一 式(光滑的表面选择 PSI模式，比较粗糙的表面选择 VSI 珀干涉仪的性能。 模式)，并设置好扫描长度等其他参数。(如果需要重复 1 轮廓仪简介 相同材料的测量，保存i见4试选项文件。)保持样品与轮廓 轮廓仪分为光学轮廓仪和机械轮廓仪两大类。本文 仪静止，通过Vision程序完成测试，并保存测试结果。 的讨论是基于美国Veeco公司Wyk0NT1100型表面轮廓 (6)查看测试结果，如有测试结果出现错误 (例如得 仪(SurfaceProfiler)。该高精度轮廓仪是利用非接触式光 到一个全黑的图片)或不完整，修改测试参数后重新测 学干涉法测量工件表面，可对表面进行快速、重复性高、 试，直至得到完整清晰的样品表面粗糙度数据。 高分辨率的三维测量，测量范围可从亚纳米级粗糙度到 2 轮廓仪检测光纤端面的实验结果 毫米级的台阶高度。小尺寸的NTI100可提供工业标准 利用Wyk0公司NT1100光学轮廓仪测量光纤端面 的Wyko光学轮廓仪所有的优点，包括完整的Vision32分 的具体操作如下： 析软件包。先进的光学元件可确保在所有放大倍数上具 首先将光纤利用专门光纤夹具固定在轮廓仪载物台 有亚纳米级(0．1啪)的垂直分辨率。 上，并调整其位置使得光斑聚焦在光纤端面。光纤夹具 2 轮廓仪基本操作 选择必须使得光纤端面与轮廓仪物镜主轴方向垂直，但 利用Wyko光学轮廓仪检i贝0样品粗糙度的基本操作 又不能使光纤在载物台上弯曲的曲率半径过小，使得光 如下 ： 纤受损甚至折断。 (1)打开表面轮廓仪本身及配套电脑电源，打开轮廓 接下来再调节轮廓仪调焦旋钮，使得轮廓仪上显示 仪测试程序 V“ision”。 清晰的光纤端面等厚干涉条纹。再调节轮廓仪光源强 (2)将待测样品固定后放置到轮廓仪的载物台上，并 度，使得反射回轮廓仪的