无色光学玻璃折射率温度系数与平晶等厚干涉条纹.pdfVIP

宫美望 :无色光学玻璃折射率温度系数与平晶等厚干涉条纹 　　　17 　　　　　 无 色 光 学 玻 璃 折 射 率 温 度 系 数 与 平 晶 等 厚 干 涉 条 纹 Th er m al Ref r act ive In dex Coef ficient s of Colorless Opt ical Glass and Equ a l Thickn ess I nt erf erence Fr inge of Opt ical Fla t 宫美望 (青岛市计量测试所 ,山东 青岛 66071) 摘 　要 :本文通过平晶折射率温度系数和热膨胀系数对其等厚干涉条纹影响的定量分析 ,找出 了温度变化 影响平晶等 厚干涉条纹 的主要因素 。从理 ( ) 论上论证了平晶表面形状判断的新方法 ,证明了新方法短时局部外围温升法 阶跃温升法 的合理性和可操作性 。最后对 标准平晶和 高精度工作 平晶 玻璃的材质提出了特殊要求 , 以满足其平面度的热稳定性要求 。 关键词 :折射率温度系数 ; 等厚干涉条纹 ; 热膨胀系数 ;平晶表 面形状 0 　引言 温度一定要符合平 晶检定规程的要求 。下面重点讨论温 使用平面等厚干涉仪测量平面平晶工作面的平面度 度变化对平晶等厚干涉条纹弯曲量和 间距 的影响。 时 ,其等厚干涉条纹的弯 曲量和 间距受到 以下三个主要 1 　平 晶的热膨胀系数与折射率温度系数 方面的影响 : 平晶用无色光学玻璃制造 ,用于 以光波法检验量具 ( 1) 物镜系统引起 的条纹弯 曲量 ,JJ F1100 - 0 03 平 和高精度工件 的直线度和平面度 。 面等厚干涉仪校准规范 中有详细介绍 。该规范规定在通 为了方便讨论和具体计算时的数据引用 ,仅讨论平 过视 场 直 径 方 向两 侧 1mm 左右 条 纹 弯 曲量 不 超 过 面平 晶的平面度和表面形状判断( 凹或 凸) ,且平 晶的材 0101m m ,其余部分不超过 010 mm 。 质本文以石英玻璃为例 。 使用参考文献的平面等厚干涉仪时 ,读数单位应该为 : 石英玻璃是现代科学技术 的重要新材料 。石英玻璃 格 ,1 格 表示 瞄准 读数 装置 上毫 米刻 线 的间距 。例 如 具有优异 的光学性能。透明石英玻璃的平均热膨胀系数 - 7 - 1 Φ60mm 平晶在视场内的像的实测直径仅为 Φ316 格左右 。 在(0 ～10 0) ℃范围约为 511 ×10 ℃ 。 Ⅱ型石英玻璃 按照 3 条 干涉条纹计算 , Φ30mm 的一级被检平 晶 在 0 ℃时的折射率温度系数 (对应波长 λ= 5 00n m) 约为 Φ - 5 - 1 其条纹弯曲量最大值估计在 0104 格左右 , 60mm 的一 - 1 ×10 ℃ ,高于 同一条件下的石英 晶体 的折射率 级被检平 晶其条 纹弯 曲量最大值 估计在 010 8 格左右 。 温度系数 。石英玻璃 0 ℃时的折射率约为 nD = 114 586