太阳能电池光电转换膜微观结构的高分辨电镜研究.pdfVIP

维普资讯 第2卷第6期 显微与测量 V0l_2No．6 2005年 l2月 Mierotechnique Measuring Dee．2005 太阳能电池光电转换膜微观结构的 高分辨电镜研究 方克明 金建灵 王国承 赵春芳 (1．北京科技大学， 北京 1()0083) (2．郑州轻金属研究院， 河南 郑州 450041) 摘 要：文章提出一种把薄膜或多层膜制成用透射电镜可以观察层间结构的样品的新技术。用高分辨 电镜研究了太阳能电池 Si—SnO!系光电转换膜的微观结构。 关键词：太阳能电池；光电转换膜 ；微观结构 Study on M icrostructureofSolarEnergy Battery Photoelectric Conversion Film by HRTEM FANG Ke-ming JIN Jian-ling’ WANG Guo-cheng’ ZHAO Chun-fang (1．UniversityofScienceandTechnology,Beijing 100083，China) (2．ZhengzhouInstituteofLightMetals，Zhengzhou 450041，China) Abstract：AnewtechnologyofmakingfilmormultilayerfilmsintospecimenthatcanbeobservedbyTEMispresentedinthispaper ThemicrostructureofSi-Sn02photoelectricconversionfilm wasstudied byHRTEM． Keywords：solarenergybattery；photoelectricconversionfilm ： mierostrueture 中图分类号：TH742 文献标识码：A 文章编号：1812— 1918(2005)06-0050-03 0 引言 本文主要介绍一种以玻璃为衬底的太阳能 太阳能电池的研制是能源领域的热门课题 电池光电转换膜的微观结构。 之一。太阳能电池的种类很多，光电转化效率也 1 光电转换膜透射电镜样品的制备 相差很大。无沦哪种太阳能电池，一般制造T艺 光电转换膜一般是一种多层膜。用透射电 都较复杂。太阳能电池的光电转化效率与光电 镜研究光电转换膜微观结构的前提条件是必须 转换膜的微观结构密切相关_J_。因此用高分辨 垂直于光电转换膜平面切取透射电镜电子束可 电镜研究光电转换膜的微观结构对提高太阳能 以穿透的纳米厚度的薄膜。 目前国内外研究者 电池的光电转化效率和优化制备工艺有着重要 常用的方法是把两片膜样品面对面用胶对粘起 的指导意义。 来，然后垂直于膜样品对粘面切一薄片 (图1)。 通过磨抛的方法把薄片减薄到微米量级 ，最后 用氩离子薄化仪把膜层减薄到电子束可以穿透 收稿El期：2005—8—20