PSD同步检测多路光位置信号的新方法.pdfVIP

第4期增刊 PSD同步检测多路光位置信号的新方法 的电阻层，I层可以视为具有均匀分布电容系数的耗 尽层。则PSD工作在全反偏模式下所产生的光电压可 3 PSD同步检测多路光信号的方法 描述如下 3．1实验系统组成 V2U一一兰(J。+Ja) (1) 有多种调制方法可以用来分离多路信号，其中脉 其中：J。表示为反向饱和电流密度，J。表示为PSD表 冲幅度调制(PAM)是最简单的一种。光源被循环点亮 面受到光照射时所产生的光电流密度，U表示为横向 也是一种可行的方法，但是这种方法会使系统引入瞬 电势差。公式(1)可以分解为两个独立的公式：稳态电 态效应造成PSD饱和而不能正常工作。为了消除这种 压U。以及光束所产生的光电压U。其中稳态电压U。 饱和影响，就必须降低被检信号的光强，但是这样做会 由外部反偏电压、漏电流、背景光所产生的光电流组 导致传感器测量精度的降低，并限制PSD能同步检测 成。如果忽略稳态电压U。和J。，则公式1可以进一步 光信号的数目。 简化为公式2。 ， V2u。—一乒 (2) ● Ii=一导J’等dt (3) 对于具体型号的PSD传感器，公式(3)表示出 PSD输出光电流与光电压之间的函数关系，其中：I；表 示电极i流出的电流强度。式(4)(5)表示了二维PSD 输出电流与光源位置信号之间的函数关系，其中L表 示PSD的最大工作范围。 x：一缮iL 04’(4) x2一丽虿 L 13一14 … 妯， y2一I—a+—14—2 图2系统框图 由上述的公式中，PSD检测到的光源位置就是其 从提高系统检测精度和增加同步检测光信号数目 照射在PSD光敏面上光斑的能量重心。由公式(4)(5) 的方面考虑，此实验系统决定用PAM作为多路光信 可以证明，输出的位置信号X，Y不随入射光的强度波 号的检测方法。 动而发生改变。在反偏电压保证PSD不出现饱和现象 实验系统中的PSD传感器采用日本滨松公司的 的条件下，同时让多路光束照射在PSD光敏面上，那 么PSD总的输出电压就等于各光束单独照射所产生 发光二极管。由PSD的瞬态特性口3得知，光源的调制 的光电压之和，即如公式(6)所示： 频率不能太大，否则将引起严重的波形失真，影响系统 的检测精度。系统中的两路指示光源的调制频率分别 。，3(∑U。，) I．=一号j—专一d1． (6) 为5k和10k。 3．2电路设计 ． 式中：N表示照射到PSD上的光束数目，U。；表示指示 由图4可以看到，稳定、同步的两个LED驱动源 光源j在PSD上产生的光电压。 是提高系统精度水平的关键，甚至关系到整个实验的 将公式(6)中的求和因子和积分因子互换，并定义 成败。根据实验系统的需要，采用一个信号发生器产