电感耦合式等离子清洗系统及 在洁净真空中的应用.pdfVIP

电感耦合式等离子清洗系统及其在洁净真空中的应用 张吉峰王承章 北京寞窒魄予技本总公霹，花京100016 摘要：本文介绍了电感耦合式等离子清洗系统的原理、结构、组成，以一台已经试制成功的清洗设备为 例，介绍了典型设备的系统构成、技术指标以及应用予徽波警麓造过程孛所收到的良虹效果。 关键词：电感耦合式；等离子体；清洗 等离子清洗技术簸初被用于加速器或核聚变装爱与航空、航天大审型真空室内壁的表瑟清洁，樱 对于传统二￡业使用的湿法清洗，具有操作方便、清洗彻底、无二次污染、对环境破坏小等优点，逐渐广 泛应用于金属、陶瓷及封接件、玻璃等材料的表面清洁。 现有的等离子清洗系统大多采取电容极扳藕合(capacitorcoupledplasma，CCP或CP)输壅方式， 将电容极板安装在真空室内，通过电极将射频激励源接入真空室内，在一定的真空条件下，电容极板间 加射频电压加速电子产生并维持等离子体，将被清洗零件置于极板间，达到清洗的目的，这种清洗方式 在半导体、航空航天、材料表藤分析等行业中已经褥到了广泛憋应矮，收到了很好的效果，但是应震子 微波管制造过程中，经反复试验发现，被清洗零件经CCP清洗后，发生了不同程度的污染，零件的绝缘 使用，ICP