BaxSr1—xTiO3前驱多层膜制备及后热处理条件的优化.pdfVIP

维普资讯 第 18卷 第 3期 无 机 材 料 学 报 Vo1．18，No．3 2003年 5月 JournalofInorganicMaterials M ay,2003 文章编号：1000—324X(2003)03-0595-06 BaxSr1一zTiO3前驱多层膜制备及后热处理条件的优化 郭杏元 1，刘庆峰 1，刘 茜 ，吴庆生 2 (1．中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构 国家重点实验 室，上海 200050；2．同济大学化学系，上海 200098) 摘 要：用Ar+离子柬多靶溅射沉积技术在单晶硅Si(100)上顺序沉积了TiO2、BaCO3、 SrC03叠层，并经后期低温扩散和高温晶化两步热处理过程制备了BaxSr1--xTiO3薄膜．用俄 歇扫描电子能谱 (AES)对其低温扩散效应 (温度、时效、沉积顺序)进行了研究．实验结果表 明：在低温段长时间保温或在中温段短时间保温都有利于各沉积组元充分扩散，扩散均匀的混