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r.f.PCVD法制备c—BN膜的研究.pdfVIP

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  • 2015-08-22 发布于未知
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r.f.PCVD法制备c—BN膜的研究.pdf

    无机材料学报

    维普资讯 无 机 材 料 学 报 V0I 14．No 4 JournalofInorganicM aterials Aug．，1999 第 拇 H 帅 卷 年 『、 r．f-PCVD法制备 c-BN膜的研究 ‘ 8 第 目 L。}{。、 。， 4 ． 韭唆 a,b 塑盔叠 何家文 期 。(西安交通大学金属材料强度 国家重点实驻室 西安 710049) (山东I业大学材料科学与I程 学院 济 南 250061) 摘 要 了醪 ’ 采用FTIR、TEM、SEM等技术

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