SiCl4氨解法制备高纯度的Si3N4粉的研究.pdfVIP

维普资讯 第 10卷 第 l期 无 机 材 料 学 报 VbI_lO．No．1 1995年 3月 JournalofInorganicMateria~ M arch．1995 SIC14氨解法制备高纯度的Si3N4粉的研究’ 张克铉 邓宗武 袁 正 。来月英 。 吴华武 徐功骅 —1 学化学亲 北京 lOOOS4) 擒 要 厂吱， ·7 ． 本文矸究了影响 Si3Nt粉中杂质氯和氯的古量的因素和如何提高糟料的纯度．实验 表明：原料~,C14(液)和NlI3(气)的纯度对糟料中杂质氯和氯的古量影响不大