氮化碳薄膜制备及性能研究进展.pdfVIP

维普资讯 第 14卷 第 3期 l17 无 机 材 料 学 报 Vol 14．No 3 ＼√ 1999年 6月 JournalofInorganicM aterials June．1999 1 ， 氮化碳薄膜制备及性能研究进展 ／ 肖兴成 塞 堕 胡行杰 p ．) yt℃ 、 、 f中国科 学院上海硅酸盐研究所 海 。。。。 摘 要 ，7／ 本文对氮化碳的结构丑制备工艺如溅射 、化学气相沉积 、离子束辅助沉积、激光烧蚀等作 了较为详细的总结与分析，对各种制备工艺条件下的氮化碳的性能包括力学、电学及光学性能 进行 了讨论，并对夸后 的发展趋势提 出了 自己的见解 ． 关 键 词 墨 堕 坦垦堕 鱼堕 堡堕 分 类 号 0484 1 引言