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建在TEM中的纳米实验室：实时动态表征与检测 孙立涛 东南大学一FEI纳皮米中心，MEMS教育部重点实验室，210096 随着电镜内原位技术的不断成熟和发展，透射电子显微镜不再仅仅是材料结构表征的工 具，还是实现高精度纳米加工、性能测试等的重要手段。这不但丰富了纳米尺度下开展实验 研究的方法，也拓宽了透射电子显微镜的应用范围，为直接从原子尺度探索纳米材料的结构 与性能的相关性，揭示材料各种特性的物理本质提供了可靠的实验手段和研究方法，为纳米 科学与技术的进一步发展创造了新的契机。本文侧重作者所在研究小组近几年的主要研究工 作，以“将纳米实验室建在透射电子显微镜里”的构想为主线，从材料的原位生长、结构加 工、性能表征和器件构建等四个方面介绍了近年来基于透射电子显微镜的代表性原位实验研 究进展[卜6]。图1为集成于SiO。／SiN。膜上的石墨烯，在电子束的辐照作用下加工出5nm以下的 纳米孔，用于第三代基因测序系统(a为电子束加工示意图，b为为纳米孔集成示意图，c为原 子分辨单、双层混合石墨烯上加工出的约2nm的纳米孔)。在对包裹有金属纳米颗粒的碳洋葱 样品进行辐照实验时，通过高分辨透射电子显微镜直观观察到了单晶金属纳米颗粒的弹性变 形及不同温度下塑性变形的全过程(图2所示)[3]。同时，还高清晰在线观察到了碳纳米管 的整个形核及生长过程，探讨了金属原子与碳纳米结构的相互作用机制[2-4]。 hole electronbeamon for a5nm-diameter third—generationgene Fig．1Drilling by graphene sequencing． ExtrusionofaAu abeam—induced a carbonshell Fig．2 crystalthrough hole(topleft)fromspherical underelectronirradiation． a b C 【．．．．．．．．．．．．．．．．-J口 ofamulti·wallcarbon aFeCo insidea nanotubc(arrowed)from host Fig～．Growth crystal nanOmbe． 参考文献： 【1】L．Sun，E Banhart,etal．，Science 312，1199(2006)． 【2】J．R-Manzo，M．Terrones，eta1．，Nature Nanotech．2，307(2007)． [3】3 L．Sun，A．Krasheninnikov,et a1．，Phys．Rev．Left．101，156101(2008) 【4】0．Cretu,A．Krasheninnikov,etal．，Phys．Rev．Leg105，196102(2010) 【5】5 Q．Liu，J．Sun，et a1．，AdvancedMaterials(2012)／npress 【6】6 Thisworkwas theNmionalBasic supported Research of by China(GrantNos．2009CB623702锄d