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电化学清洗在太阳能电池制绒前的应用 王志华，刘玉岭，张建新 (河北工业大学 微 电子研 究所 ，天津 300130) 摘要 ：在太 阳能 电池制造工业 中，为解决硅 片制绒前的传 统表面处理存在 的药剂消耗 多以 及硅 片去 除量大的 问题 ，引入 电化 学清洗的方法 。这种方法是利用专用试剂 电解后 的强氧 化性质 ，通过腐蚀 、氧化与清洗的结合 ，有效清洗硅片表面有机物 ，且硅片去除量小。从 实验 中可以看 出，去除量减少 了 1／2。通过应用金 刚石膜 电极 ，可 高效生产专用试剂 电解 液 。通过 XPS显示，电化学清洗能够有效去除有机物污染。对比了电化学清洗与 RCA清洗 后硅片制绒 的效果 ，证 明电化学清洗 的制绒效果 良好 。使用后 的电解液经过 电极处理后 ， 仍能有效重复使用 ，说 明电化学清洗可有力地控制排放 ，是大型工业生产 中有效去除有机 物 的 方 法 关键词：太阳能电池；制绒 ；清洗；表面沾污；硅片 中图分类号：TN305．97；TM914．4 文献标识码 ：A 文章编号 ：1671—4776 (2009)02—0119_04 ApplicationoftheElectrochemicalCleaningM ethod BeforeSolarTexturingofSolarCells W angZhihua，LiuYuling，ZhangJianxin (InstituteofMicroelectronics，HebeiUniversityofTechnology，Tianjin300130，China) Abstract：Anelectrochemicalcleaningmethodwasintroducedinordertodecreaselargeconsump— tionofreagentsandsiliconsduringthetraditionsurfacetreatmentbeforesilicontexturinginsolar cellmanufacturingindustry．Throughthismethod，organiccontaminantsareeffectivelyremoved byusingthestrongoxidizingpropertiesofelectrolyzed specialreagentswith corrosion，oxidiza— tionandcleaning．Theexperimentalresultsshow thattheremovalamountofsiliconisdecreased by1／2times．Thespecialreagentswereproducedeffectivelybyusingdiamondthin film elec— trodes．TheXPSmeasurementshowsthattheorganiccontaminantsareeffectivelyremovedby theelectrochemicalcleaning． A comparativeexperimentofsurfacetreatmentswithelectrochemi— calandRCA cleaningmethodswasmade, Theresultshowsthattheelectrochemicalcleaningis better．Theelectrolyteaftercleaningtreatedbyelectrodesisstilleffective，whichindicateselec— trochemicalcleaning cancontroltheemissioneffectively． Sotheelectrochemicalcleaningmethod iseffectivetoremoveorganiccontaminantsinmassproduction． Keywords：solarcell；texture；cleaning；surfacecontamination