微型原子钟铷腔的设计与封装.pdfVIP

摘 要 原子钟的发展已有60 多年的历史。在此期间，人们对它的理论研究越来越深入， 应用领域也越来越广泛。但是，原子钟的高精确度对工作环境的依赖性大，传统的 原子钟必须要有复杂而精密的系统来维持，因此体积庞大，价格昂贵。寻求新的原 理支撑，简化原子钟的结构，以微型化工艺推动原子钟更加广泛的应用成为一个重 要的发展趋势。本文的研究工作就是在这种背景下得到了国家 863 计划支持而开展 的。 本论文在充分研究了原子钟的工作原理和微制造工艺的前提下，通过理论计算、 有限元分析与实验等方法，对铷腔的封装结构和封装工艺进行了深入研究，并对铷 封装专用设备进行了前期研制。本文主要从以下4 个方面开展研究： 首先是原子钟的基本理论：对铷原子结构，特别是超精细能级进行了深入的讨 论，为铷腔的设计提供理论指导。 其次是铷蒸气腔的设计及工艺：对铷腔的工作环境进行了深入研究，包括温度、 磁场和缓冲气体；此外，对于硅腔体的MEMS 制作工艺流程进行了研究，并对各种 工艺进行了比较和分析。 再次是铷腔的封装及工艺：采用阳极键合工艺，对封装过程中的温度、直流电 压、和键合压力进行了大量试验，测试出了封装后腔体的漏率；对封装的新型工艺 进行了研究。 最后是铷