纳米薄膜制备.pptVIP

第八章 纳米薄膜(nanofilm)的制备 纳米薄膜分两类，一是由纳米粒子组成的(或堆砌而成的薄膜)，另一类薄膜是指纳米粒子镶嵌(embedded)在另一种基体材料中的颗粒膜，即在纳米粒子间有较多的孔隙或无序原子或其它类材料． 纳米薄膜在光学、电学、催化、气敏等方面具有很多特性，因此具有广阔的应用前景． (1)纳米薄膜的制备方法 (ⅰ)液相法 (a)溶胶-凝胶法．该方法制备纳米薄膜的基本步骤如下：首先用金属无机盐或有机金属化合物制备溶胶，然后将衬底(如SiO2玻璃衬底等)浸入溶胶后以一定速度进行提拉，结果溶胶附着在衬底上，经一定温加热后即得到纳米微粒的膜．膜的厚度控制可通过提拉次数来控制。 (b)电沉积法．一般Ⅱ-Ⅵ族半导体薄膜可用此法制备。 (1)纳米薄膜的制备方法 (ⅱ)气相法 (a)高速超微粒子沉积法(气体沉积法)． 基本原理是：用蒸发或溅射等方法获得超微粒子，用一定气压的惰性气体作载流气体，通过喷嘴，在基板上沉积成膜． (a)高速超微粒子沉积法 美国喷气制造公司采用该工艺成功地制备出纳米多层膜，陶瓷-有机膜、颗粒膜等．右图是他们采用气体沉积法中的多喷嘴，转动衬底制备微粒的示意图。 (a)高速超微粒子沉积法 日本真空冶金公司的Seichio Kashu等人用的设备如右图所示．他们用此方法制备了各种金属纳米薄膜． (b)直接沉积法 是当前制备纳米薄膜普