先进无机材料表面的金属化――ZnO薄膜技术.pdfVIP

圈 先进无机材料表面的金属化——zn0薄膜技术 沈伟彭德全沈晓丹 武汉材料保护研究所(430030) [摘要]对ZllO薄膜技术进行了文献综述。以喷雾热解法制备的zno薄膜作为中间层，使化学镀金属化层在高光 洁度(Ra≤o．Ol岍)的无机非金属材抖表面的结合力超过25N／“Ⅱf。zno薄睫上的光催化反应特性使其可能成为一种新 的印制电路加法工艺制造技术==介绍内客包括z【lo薄膜的制备、一J生质、金属化工艺世及界面分析结果。 结合力 [关键词]z∞薄膜；金属化；喷雾热解；加法工艺； l [中图分类号】。rQl53 [文献标识码】A [文章编号]100l—1560(2001)08—0005一03 l概述 制备zno薄膜采用喷雾热解法(spmyPydysis)。喷雾溶液 是浓度为o05m0L／L的知(Ac)：乙醇溶液，N2为载气，喷嘴距离 试样为35cm，喷雾速度控制在5n-L／血n。加热试样并恒温于400 陶瓷、光学玻璃、单晶硅或其他人工晶体等无机非金属材料 ℃。盈(Ac)，受热分解，在试样表面沉积zno薄膜。待膜增厚至 表面经常需要导电互连或其他表面功能化加工，如陶瓷基印制 0．6脚，停止加热试样．冷却至室温。然后转移试样至退火炉， 电路板、多层芯片封装、微电子和微机械器件等。这些材料，特别 450℃加热约2h，炉内冷却至室温以便消除应力。 是先进无机材料表面的金属化已成为特别重要的工艺技术。从 按上述制备方法所获zno薄膜外观无色透明．在可见光的 冶金学观点看，这些材料与其表面金属覆盖层之间的交互作用 波段范围内，其透过率超过舯％；靠近紫外区时，其透过率下降； 之中，延晶，扩散和键舍的作用十分微弱。因而，形貌的影响显得 吸收限位于波长380脚左右。x射线衍射分析表明，z110薄膜为 比较突出：为了尽可能地提高基体与镀层之间的结合力．这些材 多晶态，并且具有(002)晶面定向生长特性。囤】a、b分剐为未经 料在镀前必须进行刻蚀处理，适当地增大工件表面的粗糙度和 接触面积，以便获得理想的表面形貌和润湿性能。同样，在赋予 衍射谱，图la中可见明锐的(002)峰，表明zno薄膜具有银强的c 基体表面催化活性的工艺流程．如表面调整、催化和解胶等工序 轴取向，且与基体表面垂直。 操作时必须小心谨慎。尽管如此，结合力仍然不高。 早期曾采用过物理方法沉积金属使非金属工件表面具有导 电性能．然后电镀增厚作为装饰性镀层。近代也有采用气相沉积 (P、-D．cvD等)、离子注人、激光表面熔覆等表面改性技术作为镀 前处理方法．极大地提高了金属化层的结合力。然而．这些工艺 同时也受到物理场强分布不均匀、真空室容积有限、生产效率较 低等制约。由于在某些情况下化学镀具有不可替代的优越性，采 用物理方法与化学方法、干法与传统湿法工艺相结合的技术路 线就有可能取得突破，至少可能获得长足的进步。在高技术产业 已经出现了这种“向上兼容”的趋势。 2日／