256#215;256高帧频可见光CCD的研制.pdfVIP

SEMICONDUCTOR0P7IDELECTRoNI(SV01．25No．4 Aug．2004 256×256高帧频可见光CCD的研制 邓光华，周旭东，张 坤，钟四成 (t庆光电技术研究所．t庆400060l 摘 要： 采用三相全帧帧转移结构和常规的CCD工艺，设计并研制了一种高速摄像用256× lx(峰值波 头输出，占空比100％。测试结杲表明，器件工作波长为o．4～1．1pm，光灵敏度为0．05 长处，积分时间40ms)，帧速为500帧／秒，动态范围犬于等于54dB，响应非均匀性小于等于2％。 关麓词： CCD图像传感器；高帧频；动态范围 中圈分类号：TN386．5 256×256Fl隐me-rateVisibleCCD High LiglIt DENG