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端口电测技术在失效分析定位中的应用 陈媛 信息产业部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室，广州 510610 摘要：端口电测技术作为一种失效分析定位手段，不需-t-复杂的测试设备和测试程序，具有简单的、快 捷、有效等优点。本文介绍了端口电测技术的原理及优点，并列举了实例，充分证明了端口电测技术在 失效分析定位过程中的有效性。端口电测技术在失效分析定位中有很强的应用价值。 关键词：端口，电测，失效分析，定位 electricaltest Pin-to-pin technologyapplying infailure orientation analysis Chenyuan of for and TheNo．5ResearchInstitute MII，NationalKeyLaboratoryReliabilityPhysicsApplication ofElectronic Technology Product，Guangzhou510610，China test and aIEnotneededfor electricaltest a墨akindofmean8 Abstract：Complicatedequipmentprogramme pin-to-pin technology infailure is andeffectual．Thearticleintroducedthe andmeritof orientafon．It pin-to-pin analysis simple、convenient principle testtechnolo- electricaltest and several examples electrical technologyparticularizedexamples．Theadequatelyprovedpin—to-pin effectualinfailure orientation．It valuefor electricaltest infailurea- h∞verygreat印plication technology gy analysi8 pin—to-pin orientation． nalysis Key test，failureanalysis，orientation word：pin·to-pin，electrical 1 引言 集成电路的复杂性决定了失效定位在失效分析中的关键作用，而电测技术是一种重要而且有效的非破 坏性分析定位手段。随着集成电路的规模越来越大，集成度越来越高，对其进行功能测试需要复杂的功能 测试设备和测试程序，测试周期长、耗费大。而端口电测技术作为一种失效分析定位技术，则相对简单、快 捷，再结合物理失效分析技术的应用往往也会获得令人满意的失效分析结果。 2 电测的种类和相关性 以电子元器件失效分析为目的的电测方法可分为三类：连接性测试、电参数测试和功能测试。 连接性测试可确定开路、短路、漏电以及电阻值变化等失效模式。连接性测试过程简单、应用广泛，端 口测试就是