HP40钢表面A12O3薄膜制备及抑制结焦性能研究.pdfVIP

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2015-08-31 发布于湖北
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HP40钢表面A12O3薄膜制备及抑制结焦性能研究.pdf

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HP40钢表面A12O3薄膜制备及抑制结焦性能研究.pdf

18 材料工程／2008年2期 HP40钢表面A1203薄膜制备及抑制结焦性能研究 of on AluminaFilms HP40 Investigation Deposited andthe of byMOCVDProperty Alloy CokeFormationInhibition 黄志荣，孙启凤，罗小秋 (华东理工大学机械与动力工程学院，上海200237) HUANG Zhi—rong，SUNQi—feng，LU0Xiao-qiu ofMechanicalandPower China (School Engineering，East ofScienceand 200237，China) University Technology，Shanghai 面制备了纳米晶Al：03薄膜，该薄膜具有表面平整、均匀、致密的特点，且具有明显抑制结焦作用，结焦抑制率达到 52．4％以上。关键词：A1203薄膜；结焦；金属有机化学气相沉积；裂解炉；HP40钢中图分类号：TQl34．1文献标识码：A 文章编号：1001-4381(2008)02一0018一05 Abstract：Thinaluminafilmswere ontheheat-resistantHP40．The deposited steel，type deposition wascarriedoutin by chemicaldeposition process nitrogenatmosphericpressuremetal—organicvapor the microstructureandcoke (MOCVD)withaluminum—tri—see—butoxide(ATSB)asprecursor．The formationinhibition ofthealuminafilmswere property investigatedusingoptical atomicforce electron diffraction(XRD)and scanning microscopy(SEM)，X—ray Theresultsshowedthataluminafilms at350℃werenano surfacewas deposited crystalline，whose smooth，uniform，anddense，andthe ofthecokeformationinhibitionachievedabove efficienc