NEXX Systems,携先进封装工艺设备拓展中国市场——访NEXX Systems董事长＆总执行长Thomas Walsh先生.pdfVIP

电 字 工 业 毫 用 设 备 - · 业界访谈 · NEXX Systems，携先进封装工艺设备拓展中国市场 — — 访 NEXXSystems董事长 ＆总执行长 ThomasWalsh先生 本刊记者 张军营 这些设备的需求都有较快的增长 。NEXXSystems 现在有 STRATUS(电镀沉积设备)和APOLLO(溅 镀沉积设备)两款主打设备，应用于半导体封装不 同沉积工艺中。同时这两款设备也是高效、节能、无 羹 铅环保设备，符合现代化生产呵护 自然的环保理 念 。在芯片镀铜工艺领域，该设备的优势在于：芯片 在镀铜过程中是水平倒置，完全浸泡在液体里，芯 片两边 3mm处有一个搅拌器，这样保证了镀铜的 均匀性和沉积效果；这两款设备同时兼容 150mm、 200mm、300mm等不同规格的芯片。APOLLO配 置 了多个托盘 (150mm4个，200mm3个、300mm 2个)。另一个优势在于：这两款设备对中国生产型 右 ：NEXXSystemsCEO ThomasWalsh 客户具有非常高的性价 比，可满足不同的工艺需 左：NEXXSystems中国区高级经理 SherryZhu 求，节省成本，各种化学液可分开陈放，设备小，节 2011年对NEXXSystems来说是具有里程碑 省 占地面积；根据制程工艺 20H 的工作量级 1000 意义的一年，今年是NEXXSystems成立十周年 ， 个 wafer，工作效率极高。LED领域也是NEXX 同时在上海 的崭新 OFFICE开始运作起来 。NEXX Systems重要市场之一，目前在全球十大 LED制造 Systems是一家发展迅速的半导体整机设备供应 厂商当中也有两家公司在使用该产品。其设备具有 商，总部位于美国波士顿，现有 140名员工 。其设备 良好的连接性、导热性以及可延长 LED使用寿命 主要应用于半导体后端先进封装工艺，全球设备装 等；同时可 以兼容 50mm、100mm、150mm规格的 机量达到 170多台，目前中国有 4家客户，装机量 LED芯片 。 达到 l0台。不久前，NEXXSystemsCEOThomas 摩尔定律逐渐遇到瓶颈，为进一步通过先进制 Walsh先生在位于上海新成立 的办公室 向记者侃 程持续缩小晶片尺寸与功耗，推动半导体产业持续 侃而谈 ，介绍他们先进的半导体封装设备以及畅想 发展 ，技术挑战越来越大 。 目前仅 有 INTEL、 未来在 中国的远景计划 。 TSMC、SAMSUNG等一流的半导体公司愿意花钱 当前半导体的平均增长率是 6％～8％，但整个 持续追寻摩尔定律，但 32nin、22nm制程 以后已