Sn0.5Ti0.5O2固溶体薄膜的制备及其气敏特性研究.pdfVIP

刘凤敏 等：Sn0.5Ti0.5O2 固溶体薄膜的制备及其气敏特性研究 2029 Sn0.5Ti0.5O2 固溶体薄膜的制备及其气敏特性研究* ∗ 1 1 1 1 2 1 刘凤敏 ，全宝富 ，陈丽华 ，刘志强 ，于连香 ，刘奎学 (1. 吉林大学 电子科学与工程学院，吉林 长春 130023 ；2. 吉林大学 化学科学学院，吉林 长春 130023) 摘 要：采用溶胶凝胶法制备了Sn0.5Ti0.5O2 固溶体。 2 实 验 用X 射线衍射 （XRD ）和红外（IR ）技术对材料的 结构和热稳定性进行了分析表征。固溶体的热稳定 2.1 试剂及仪器 性与起始反应温度有关，40 ℃水浴制备的凝胶经过 氯化亚锡（SnCl ·2H O ），北京红星化工厂， 2 2 1000℃烧结就发生了相分解，出现了富Sn、富Ti 相， C.P.级；钛酸四丁脂（C H O ）Ti ，上海惠世生化试 4 9 4 而80℃水浴制备的凝胶经过 1200℃烧结也不发生相 剂有限公司，A.R.级；无水乙醇和氨水，北京化工厂， 分解，仍以Sn0.5Ti0.5O2 相存在。将胶体制成了薄膜元 A.R.级。 件并测试了元件的气敏性能，发现此元件对H2 S 气体 单管高温定碳炉 SK-2.5-13D, 天津实验电炉厂 有一定的灵敏度。 （2.5kW,50Hz ）；JB-3 型定时恒温磁力搅拌器，上海 关键词：溶胶-凝胶法；Sn Ti O ；热稳定性；气敏性 0.5 0.5 2 电磁新经仪器有限公司。气敏测试仪。 中图分类号：O64 1; TP2 12.2 文献标识码：A 2.2 Sn0.5Ti0.5O2 固溶体的制备 文章编号：1001-9731 （2004 ）增刊 以SnCl ·2H O 及（C H O ）Ti 为原料，无水 2 2 4 9 4 乙醇为溶剂。称取适量SnCl ·2H O ，按摩尔比n(Ti) ： 1 引 言 2 2