SNMP在半导体装备控制系统中的应用.pdfVIP

机械设计与制造 第1期 72 MachineryDesignManufacture 2013年1月 SNMP在半导体装备控制系统中的应用 王亚楠1,2刘明哲2，叶家发1,2 (1．中国科学院研究生院，北京100039；2．中国科学院沈阳自动化研究所，辽宁沈阳110016) 摘要：半导体装备系统通常由具有不同功能的可控部件组成。这些部件共同实现了半导体装备系统的底层输入输出等 功能。针对半导体装备控制系统对不同功能的可控部件的一致性控制需求。实现了一种基于简单网络管理协议的分布式 YO通信系统，系统不仅可对所有支持SNMP协议的设备进行通信和控制，还对其他不支持SNMP协议的设备使用一种 SNMP封装的方法，使得系统对所有设备能够统一采用SNMP的方式进行通信，从而满足半导体装备控制系统的一致性 控制需求。 关键词：简单网络管理协议；SNMP++开发包；半导体：通信系统；一致性需求；不间断电源 中图分类号：THl6文献标识码：A 文章编号：1001—3997(2013)01—0072—031 SNMPProtocol inIC Control ApplicationEquipmentSystem WANGYa—nanl一．LIU Jia-fal’2 Ming—zhe2,YE InstituteofAutomationChinese of 110016，China) (Shenyang AcademySciences，LiaoningShenyang is controllable toachieve Abstract：IC 110functionofthe equipmentnormallycomposedofmany componentsworkingtogether device．Inallusiontothe demandvariablecontrollabledeviceinIC controllingfor equipmentcontrolling underlying unified onSNMP canonon．ehandcommunicatewithall realizesadistributedYOcommunicationbased which system，it system SNMPandcontrol the hand a theotherdevice themwith device them，Oilother supportiag methodfor bypackaging propose SNMPSOthatallthedeviceisavailableinthis the demandIC s弘tem，thusmeetingunifiedcontrollingof equipment controUingsystem． K