新型MEMS光开关研究.pdfVIP

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2015-09-01 发布于安徽
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新型MEMS光开关研究.pdf

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第八届中国光电通信论坛会议论文集 EM 新型M S光开关的研究王巍霓张名亮唐棣芳 (上海交通大学技术学院) 关的原理，结构与分类。并详细地讨论了几种最新型的MEMS光开关技术，同时分析比较了这些元件的工作原理与应用上的优缺点。在论文的后面部分作者设计并分析了一种新型的硅基 PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动的光开关，并提供了一种新型硅基PTZ压电复合膜悬梁驱动光开关的制作方法，希望能为新型光开关的研究和发展提供一定的理论依据和参考。关键字：MEMS，新型光开关，PTZ，悬臂梁，微镜 ReserchofNew MEM8 Switches Optical Weini Wang ZhangMingliangTangDifang of (TechnoloyCollegeShanghaiJiaotongUniversity) Abstract：Thefeaturesand ofMEMSare introduced applications briefly andthe andclassificationsofthe switches principles，structures optical basedonMOEMSareelaboratedinthis detailed article．Meanwhile，the and ofthe and analysiscomparison ofthe MEMS switchesare disadvantagesnewly-made optical anovel made．FurthermoreswitchactuatedPZT optical by piezoelectric cantileverbasedon multiple-一layer siliconis intheendofthe designed whichthe of andthedetailed paper，in waydesign manufacturingprocess arealsodiscussedinordertobrazeanewtrailto therobustnessof gain theresearchin unknowMEMS switches． creating optical Key words：MEMS，newoptical 1、引言随着光纤通信技术的发展和密集波分复用(DWDM)系统的应用，全光交换已经成为一种趋势，光开关是实现全光交换的关键器件，在全光网络中，利用光开关可以实现全光层的路由选择、波长选择、光交叉连接以及自意保护等功能。目前主要应用