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新型高效高产三氯氢硅合成流化床新工艺
王军涛1杨秀岭2刘 波 2常永城2
1.潍坊市经济和信息化委员会，山东潍坊261061
2.山东新龙科技股份有限公司，山东寿光262700
[关键词]三氯氢硅；流化床；工艺
[摘要]介绍山东新龙科技股份有限公司自主研发三氯氢硅合成用新型高效高产流化床新工艺的过程，采
用该工艺原料转化率达95％，产品质量分数达99.99％，操作周期超过8个月；主要消耗指标硅粉单耗≤255kg，蒸
汽单耗≤120kg、氯气单耗≤930kg、氢气单耗≤170m3。
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J]．氯碱工业，201(
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