辉光放电质谱法在无机非金属材料分析中的运用(6页).pdfVIP

第- 卷 分析化学 （4@LNJ OPKNP@ ）! 评述与进展 第. 期 ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ##+ 年. 月 2QA989 R?6=A17 ?S KA17HBQI17 29Q8B=H .#* / .. 辉光放电质谱法在无机非金属材料分析中的应用 ! 陈! 刚 ! 葛爱景! 卓尚军! 王佩玲 （中国科学院上海硅酸盐研究所，上海###$# ） 摘! 要! 辉光放电质谱法（%’( ）作为一种固体样品直接分析技术，已广泛应用于金属、半导体等材料的痕 量和超痕量杂质分析。近年来，随着制样方法和离子源装置的改进，%’( 同样也能很好地应用于玻璃、陶 瓷、氧化物粉末等非导体材料的成分分析。简介了%’( 的基本原理和分析特点，概述了%’( 在无机非金 属材料分析的方法以及应用情况。 关键