原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
7 solgel纳米晶二氧化锡薄膜的制备及表征.pdf
第7 期 电 子 元 件 与 材 料 Vol.24 No.7
2005 年7 月 ELECTRONIC COMPONENTS MATERIALS Jul. 2005
研究与试制
R D
sol-gel 纳米晶二氧化锡薄膜的制备及表征
闫军锋 王雪文 张志勇 赵丽丽 何崇斌
西北大学电子科学系 陕西 西安 710069
摘要:以SnCl 为原料 采用sol-gel 技术 应用间接成胶法 在玻璃片上制备了纳米晶SnO 薄膜及粉体 以其灵
4 2
敏度 响应时间和工作温度作为评价气敏性能的标准 对制备工艺参数进行了优化 并用DSC-TG XRD AFM 等手
段对样品进行了表征 结果表明 水与乙醇体积比为3:1 草酸与四氯化锡摩尔比为0.3:1 在500 下退火的薄膜表面
平整 平均粒度在20 nm 左右 且相应的薄膜元件对丙酮蒸气具有良好的选择性和较高的灵敏度 较短的响应时间和
较低的工作温度 190
关键词:电子技术 sol-gel 法 纳米晶 二氧化锡 气敏特性
中图分类号:O484.1 文献标识码:A 文章编号:1001-2028 2005 07-0005-04
Preparation and Characterization of Nanocrystalline SnO Gas
2
Sensitive Thin Film by Sol-gel
YAN Jun-feng, WANG Xue-wen, ZhANG Zhi-yong, ZHAO Li-li, HE Chong-bin
(Department of Electronics, Northwest University, Xi’an 710069, China)
Abstract: Fine nanocrystalline SnO2 gas sensitive thin films on the glass and powder were prepared by the indirect
technique of forming colloid of sol-gel process, in which SnCl was used as a sort of source material. In order to improve the
4
gas sensitive capability of SnO2 thin film, the technique parameters of preparing were selected and the better conditions of
文档评论（0）