偏压类型对磁过滤等离子体制备优质类金刚石膜的影响.pdfVIP

第15卷第7期 中国有色金属学报 2005年7月 V01．15No．7 TheChinese ofNonferrousMetals Jul． 2005 Journal 文章编号：1004—0609(2005)07—0987—06 偏压类型对磁过滤等离子体 制备优质类金刚石膜的影响① 闺鹏勋，李晓春，李 春，李 鑫，徐建伟 (兰州大学等离子体与金属材料研究所，兰州730000) 摘 要：采用自行研制的磁过滤等离子体装置在单晶si基底上制备了优质类金刚石(DLC)薄膜。运用红外光谱 (IR)、扫描电镜(SEM)，原子力显微镜(AFM)和纳米压痕仪对样品进行了表征和分析，着重研究了衬底偏压类型 对制备薄膜的影响。结果表明：在无偏压或周期性负偏压下制备的DLC薄膜的sp3含量比连续负偏压下制备的薄 nm，sp3含量达到 膜的sp3含量要高；同时在周期性偏压下制备的薄膜表面较光滑，其表面粗糙度仅为0．1 GPa)。同时对相应的成膜机理进行了讨论。 66．8％，相应的纳米硬度也较高(达到80 关键词：周期性偏压；优质DLC膜；磁过滤等离子体；硬度 中图分类号：TGl75 文献标识码：A Effectofsubstratebiason DLCfilms highquality filteredcathodearc depositedby plasma YAN Xiao—ehun，LIChun，LIXin，XUJian-wei Peng—xun，LI 8L ofPlasmaMetalMaterials，Lanzhou 730000，China) (Institute University，Lanzhou filmswerefabricatedonthe Sisubstrate filteredcathodearc DLC byusing Abstract：Highquality singlecrystal nano—indenterwere tocharacterizetheDLC and employed films．Specially plasmaself-developed．IR，SEM，TEM onthe thefilmswerestudied．Theresearchresultsshowthatthe con— theeffectsofthebias of sp3 types properties undernoor biasis thanthatunderthecontinue bi— tentoftheDLCfilms