光栅机械刻划摩擦型颤振机理.pdfVIP

第22卷第11期 光学精密工程 V01．22No．11 andPrecision 2014年11月 Optics Engineering NOV．2014 文章编号1004—924X(2014)11—3061—06 光栅机械刻划摩擦型颤振机理 石广丰¨，吕杨杨1，史国权1，吉日嘎兰图2，肖 (1．长春理工大学，吉林长春130022； 2．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033) 摘要：研究了光栅机械刻划过程中弹性刀架和金刚石刻刀系统的摩擦型颤振机理。建立了光栅机械刻划摩擦型颤振动 力学模型，并对颤振系统进行了稳定性分析，提出了系统的稳定性条件和“稳定性阈”。从能量角度对颤振进行了分析， 获得了相同的稳定性条件。在刻划工艺试验装置上单一改变刻划速度进行了光栅刻划试验，通过对刻划力的测量和分 析，验证了竖直方向刻划力相对于刻划速度具有下降特性，即满足了摩擦型颤振的前提条件。最后，通过对2、6、10和 13mm／s4组不同刻划速度下所刻光栅槽形轮廓的检测，验证了该系统在超过临界刻划速度(在6～10mm／s)的情况下 会有颤振发生。验证实验证明了该摩擦型颤振动力学模型的有效性和稳定性阈的存在性，为深入量化分析并抑制颤振 的发生奠定了理论基础。 关键词：光栅；机械刻划；摩擦型颤振；稳定性分析 文献标识码：A doi：10．3788／OPE3061 中图分类号：THll3．1；0436．1 Mechanismoffrictionalchatter mechanical during rulinggrating SHI Galantu2，XIAOWeil Guang—fengh，LOYang—yan91，SHIGuo-quanl，JIRI Scienceand 130022，China； (1．ChangchunUniversityof Technology，Changchun Institute Mechanicsand 2．ChangchunofOptics，Fine Physics， Chinese 130033，China) AcademyofSciences，Changchun *Corresponding mechanismsoffrictionalchatterofadiamond andaelastictool were Abstract：The rullingsystem post researchedinmechanical a modelforamechanical rulinggratingprocessing，anddynamic ruling was ofthechatter was its established．Then，the grating stability systemanalyzed，andstability conditionand thresholdwere chatterwasr