压强对射频溅射氧化锌薄膜结构与性能的影响2009051124406939.pdfVIP

湖南有色金属 第 20 卷第 2 期 24 HUNAN NONFERROUS METAL S 2004 年 4 月 ·材　料· 压强对射频溅射氧化锌薄膜结构和性能的影响 苏伟涛 ,余志明 ,刘　昕 ,杨　莉 ( 中南大学 湖南 长沙 　410083) ( ) 摘 　要 :采用射频溅射方法在聚脂 PET 胶片上沉积 ZnO ∶Al 薄膜 ,实验结果表明沉积压强对氧化 锌透明导电薄膜的表面形貌、结构、光电性能等有较大的影响 ,在低的沉积压强下薄膜具有很好的 (002) 结构 ,有优良的光、电综合性能。同时详细讨论了影响结构和性能的诸因素。 关键词 :氧化锌 ;透明导电 ;射频溅射 + ( ) 中图分类号: TG1461 3 　　文献标识码 :A 　　文章编号 :1003 - 5540 2004 02 - 0024 - 03 　　透明导电氧化物半导体薄膜以其独特的光、电 研究。 性能在太阳能光电电池、液晶显示等方面得到了广 1 　试　验 泛的应用。透明导电氧化物薄膜主要有 ITO 薄 膜[1 ,2 ] 、SnO2 薄膜[3 ,4 ] 、ZnO [5 ] 薄膜等。在透明导电 试验采用 CSU - 5001 型多功能磁控溅射仪 ,所 ( ) 用的射频频率为 1356 MHz , 背底真空为 2 × 氧化物 TCO 中 , ITO 占据了很大的份额,但是 In 价格昂贵 ,而且随着平板显示器和太阳能电池应用 10 - 4 Pa , 沉积工作压强 02 ～2 0 Pa , 射频功率为 的迅速增长 , 预计在本世纪末 In 资源将会枯竭。和 125 W 。采 用 2 % Al O ( 99 99 %) 搀 杂 的 ZnO 2 3 ( ) (99 99 %) 陶瓷靶 ,靶材直径为60 mm ,厚度6 mm ,靶 ITO 相比 , 铝搀杂氧化锌 AZO 原料广泛 , 价格低 廉 ,所用原料没有毒性 ,氧化锌热性能稳定 ,生产条 材到衬底的距离为12 cm ,溅射气体为99 9 999 % 的 ( ) 件容易控制 ,而且 AZO 薄膜在氢等离子体中有相当 氩气 ,衬底为透明聚脂胶片 PET 。考虑到等离子 的稳定性 ,具有独特的优势。AZO 可以在太刚能电 体对衬底的轰击导致衬底升温 ,不对衬底加热。 池和光电显示中作为透明导电电极 ,另外也可作为 薄膜的结构分析采用 XD98 型 X 射线衍射仪 , 表面声学波器件、铁电材料、导电材料、发光材料 ,在 采用原子力显微镜测出薄膜的形貌 ,采用 SZT - 90 很多的领域已经得到了广泛的应用。 型四探针方阻仪测量薄膜的方阻 ,可见光透过率采