n型透明导电氧化物薄膜研究新进展.pdfVIP

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　陶 瓷 　　　　　　　　　　　　　　　　　2006 . No . 5 　　　　　　 ·12 · n 型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 方 　俊 　杨万莉 ( 陕西科技大学材料科学与工程学院　咸阳　712081) ( ) ( ) ( ) 摘 　要 　透明导电氧化物 TCO 薄膜 In O ∶Sn ITO 和 SnO ∶F FTO 都已经发展成熟 。最近几年 ,对于 TCO 薄膜的研究又 2 3 2 有了很多突破性的进展 。ZnO 基 TCO 薄膜 , 由于其资源丰富 ,性能优异 ,大有替代 ITO 薄膜的趋势 ;发现了一些新的多元 n 型 TCO 薄膜材料 ,可以根据应用需求通过调节各化学组分的含量来改变其性能 ;开发出具有低电阻率的多层复合 TCO 薄 膜 ,可以拓展 TCO 薄膜的应用领域 。 关键词 　n 型 　透明导电氧化物薄膜 　新进展 源蕴藏丰富 ,无毒 、易刻蚀 、价格便宜 ,是值得深入研究 　前言 的新一代透明导电材料[3 ] 。 天然的氧化锌是一种 n 型半导体 , 电阻率虽然可 以低至 4 . 5 ×10 - 4 Ω . ,但其在温度超过 150 ℃时性能 ( ) 透明导电氧化物 TCO 薄膜是功能薄膜材料中比 很不稳定 ,通过掺杂其他元素可以提高它的热稳定温 较有特色的一类薄膜 , 因其在可见光区透明和电阻率 度[3 ] 。ZnO 的 TCO 薄膜中可以掺杂 Al [4～6 ] 第 Ⅲ族元素 低等优异的光电性能 ,被广泛应用于各种光电器件中 , 或掺入 Ti[7 ] 第 Ⅳ族元素 ,也可以掺 F 替代 O[8 ] 。其中 例如 :平面液晶显示器 ,太阳能电池 ,节能视窗等 。自 [ 1] ZnO ∶Al (AZO) 薄膜的研究最为广泛和深入 。 1907 年 Badeker 首次制成了 CdO 透明导电薄膜 , 引 [9 ] [ 10 ] [ 1] 最近几年 ZnO ∶Ga