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2015-09-04 发布于浙江
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基于光杠杆原理的微位移测量系统设计.pdf

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2015年第3期文章编号：1009—2552(2015)03—0036—04 DOI：10．13274／j．cnki．hdzj．2015．03．010 基于光杠杆原理的微位移测量系统设计周光明，吴禹，鲍丙豪，高永锋 (江苏大学机械工程学院，江苏镇江212013) 摘要：基于原子力显微镜的工作原理，设计了一种端点带反光镜的悬臂梁，实现光点位移放大，并利用位置敏感器件(PSD)将光点位置信息转换成光电流，从而设计出一种微位移测量系统。该系统结构简单、灵敏度高，适用于微小位移量的测量。文中给出了该测量系统检测原理，设计了信号处理电路，利用压电元件对悬臂梁端点微位移进行了检测。该系统可检测的线性位移量程为0～501山m，线性度为1．79％FS，分辨力可达50nm。关键词：光杠杆；微位移；测量系统；PSD；信号处理中图分类号：TP212文献标识码：A ofa for measurement Designsystemmicro-displacement basedon lever opticalprinciple ZHOU Yu，BAO Yong—feng Guang—ming，WUBing—hao，GAO ofMechanical (School 212013，JiangsuProvince，China) Engineering，JiangsuUniversity，Zhenjiang Abstract：A is basedonthe ofanatomicforce systemdesigned workingprinciple Micro—displacement includesacantilever withmirrorthatachieves microscope．Thesystem endpoint opticaldisplacement a sensitive usedtoconvert informationinto amplification，andposition device(PSD)wasspotposition has of structureand issuitableforsmall sensitivity，which photocurrent．Thesystemadvantagesimple high linear measurement．Thedetection ofthemeasurement displacement principle system，thesignal circuits ofthecantilever wascaused were terminal，which conditioning presented．Themicrodisplacement the measureda