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一种含钼元素高性能湿敏涂膜的制备 杨鸿伟( （大庆石化公司 实业公司，黑龙江 大庆 163714） 摘要采用溶胶凝胶法制备H2V12－xMoxO31(y·nH2O薄膜湿敏特性研究：随着Mo含量的增加，H2V12－xMoxO31(y·nH2O干凝胶薄膜的灵敏度增大湿滞回差降低，H2V2Mo10O31(y·nH2O干凝胶薄膜的电容、电阻湿敏特性好；在并联电路模式下，H2V3Mo9O31(y·nH2O干凝胶薄膜的电容湿敏特性好，H2V2Mo10O31(y·nH2O干凝胶薄膜的电阻湿敏特性较好。 关键词：H2V12－xMoxO31(y·nH2O湿敏特性传感器TE624 文献标识码：A 文章编号： V2O5凝胶湿敏材料[]，广泛应用于作为表面感湿薄膜的湿敏传感器中。以V2O5为基体的复合酸干凝胶是一种新型的湿敏材料目前对这类凝胶的研究主要集中在不同的钒酸基化合物的制备在本文中Mo取代VH2V12－xMoxO31(y·nH2O湿敏特性及，以期待在V2O5溶胶原有的感湿特性上，使复合材料兼具有两者的优点，研发出湿敏薄膜材料。粉末分析纯分析纯Mo粉复合酸溶胶的制备 将一定量分析纯的粉末和Mo粉末分别溶于中，以和Mo粉为起始物质，溶剂。在室温下溶解完全得无沉淀的前驱溶液，其颜色分别为红褐色和浅绿色，将溶液迅速混合后放入0℃冰浴中，并立即用玻璃棒搅拌至块状物质大部分溶解得到深墨绿色H2V12－xMoxO31(y·nH2O溶胶，在100℃下干燥失水成H2V12－xMoxO31(y·nH2O干凝胶。在所有过程中均需均匀搅拌。湿敏元件的制备衬底元件的衬底片是在陶瓷基板上，以金浆进行丝网漏印成叉指电极，在800℃以上高温烧结成金电极，焊上引线所得到。叉指电极的特点是宽度小(几十到几百微米)，而长度在mm~cm级，电极为金电极。 元件（）衬底清洁处理：把衬底放在滤纸上，用乙醇棉球反复擦洗以除去表面的油污，再用丙酮棉球擦洗三次并用超声振荡清洗30min，接着用去离子水冲洗10次，最后室温下干燥1小时后待用。 （）在干燥好的元件背面标记好之后，用垂直提拉法将复合酸溶胶在元件上。 （）室温干燥后放在红外烘干箱中处理半小时形成湿敏元件。 结果与讨论感湿特性测试25℃下，H2V12－xMoxO31(y·nH2O干凝胶薄膜的湿敏特性，包括串联电路电阻电容随相对湿度的变化并联电路电阻，电容随相对湿度的变化灵敏度和湿滞回差随Mo含量变化串联电路模式下，湿敏元件电阻的灵敏度随Mo含量的增加而增加，其中当0.5≤x≤5.5过程中，灵敏度随Mo含量增加而上升的趋势并不明显，x＝7时的灵敏度较小是因为涂膜不好所致，根据实验数据处理的原则，可将该点抛除，因此，在x≥5.5之后，灵敏度增加的趋势变得明显，当x＝10时灵敏度最大，达11.22k(/RH%；串联电路模式下，湿敏元件电阻的湿滞回差随Mo掺入量的增加呈下降趋势，0.5≤x≤5时，湿滞回差有下降趋势，但反复波动，并不明显；x≥5.5之后，湿滞回差随x的增加而下降，当x＝10时湿滞回差最小，为5.61RH％。综合考虑，在串联电路模式下的H2V2Mo10O31(y·nH2O为合适做电阻型湿敏元件薄膜 串联电路模式下湿敏元件的灵敏度随Mo含量的增加而增加，湿滞回差随Mo含量的增加而降低，因此，Mo的掺入量在能够掺加成功的情况下，应越多越好，即H2V2Mo10O31(y·nH2O适合做电容型湿敏元件。 总的来说，薄膜的灵敏度随着Mo含量掺加的增加而升高，表明V2O5溶胶中掺加Mo有利于提高湿敏元件，并且随着Mo的加入量的增加，灵敏度增加的幅度也越来越大。至于在3.5－4之间的稍许下降，可能是由于涂膜不够均匀所至薄膜的湿滞回差随Mo含量掺量的增加总体上是在逐渐减小的，至于在x＜3之前的往复波动可能是由于在开始测量阶段体系湿度不够稳定，随着测量的深入，时间的延长，湿度体系渐趋稳定，使规律变得明显。综上所述对于电阻型湿敏元件，Mo的含量。25℃下并联电路电容的灵敏度和湿滞回差对Mo含量的变化关系可知对于湿敏元件而言，当x＝9时湿滞回差最小H2V2Mo10O31(y·nH2O适合在并联电路模式下做电容型湿敏元件。 综，H2V2Mo10O31(y·nH2O适合做电容或电阻型湿敏元件；在并联电路模式下，H2V2Mo10O31(y·nH2O薄膜适合做电阻型湿敏元件；而湿敏元件薄膜的，宜取Mo的掺比量等于9时佳H2V3Mo9O31(y·nH2O。 2.2 复合钒钼酸薄膜对于薄膜湿度传感器来说，环境温度对薄膜的质量来说是非常重要的，H2V2Mo10O31(y·nH2O感湿温度特征 分析H2V2Mo10O31(y·nH2O在1KHz频率、1V的工作电压，串联电路中的电容对温度关系可知：在串联电路中，同一相对