溅射法制备AlPb金属多层膜.pdfVIP

溅射法制备 AI/pb金属多层膜 郭诗玫 1 孙勇 1 王闸 ! 650093# 昆明理工大学新材料制备 与加工重点实验 室 云甫 昆明 # 摘 要 通过直流二极溅射 法制备了具有不 同调制 波长和周 ( Hmix 0) 的混合热为正值 A ＞ 并且原子之间存在相 期的 AI/pb金属 0 别通过扫描 \X- 衍射试 多层 膜 分 电镜 射 线 排斥作用 金属元 之间 成化合物 互 故 素 很难形 或 固溶 验以及能谱对 多层膜的表面形貌\断面形貌\结构和组成进行 的大多 ~化学 体 但是 非混溶体 系 数元 素在物理 性 0 1 了分析 结果表明 所制备的 AI/pb 纳米多层 膜既 无新相 生 能上具有较大的互补性 因此它们具有很好 的理论研 成也 非晶相产 9 米尺寸范围内 1 和铅的微 无 生 在亚微 铝 粒分布 9 纳米尺寸范围内 1形成 pb AI 包覆0 究价值 并且具有广 阔的应用前景 均 匀 在 了 对 的 # 9 9 9 关键词 直流溅射 AI/pb纳米金属 多层膜 微粒分布 纳米尺寸 然而 自然界中的元素可以构成大量 的非混溶体 # #A 中图分类号 TF821 文献标识码 系 但目前真正得到应用的还很有 限 一方面是由于 1004-227X2006 09-00020-03 文章编号 # $ % 互不相溶 的特 传统 的方法制 出的 金实 其 性 用 备 合 质 Preparationofal/Pbmetallicmultilayerbysputtering 上是假象合金 难以实 际应用 3另一方面是该类体 系 //GUOshi-mei sUNYong WANGzha [2]