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低真空下射频磁控溅射法制备ITO薄膜.pdf
第22卷第5期 液 晶 与 显 示 V01．22，No．5
Chinese of and Oct．。2007
2007年10月 JoumalLiquidCrystalsDisplays
Article
ID：100弘2780(2007)05一0553一07
Films Radio
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Xiao—dong，ZHUHong．bing，CHUJia．bao，HUANGShi—yong，
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characterize of films．ITOfilmswitha
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