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2015-09-04 发布于重庆
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全方位离子注入与沉积类金刚石碳膜的结构与性能.pdf

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全方位离子注入与沉积类金刚石碳膜的结构与性能.pdf

第 31卷第2期材料热处理学报 Vol. 3 1 No. 2 2 0 10年 2月 TRANSACTIONS OFMATER IALSAND HEAT TREATMENT February 2 0 10 1 1 1 2 刘洪喜 , 蒋业华 , 周荣 , 汤宝寅 ( 1. 昆明理工大学机电工程学院, 云南昆明 6 0093; 2. 哈尔滨工业大学现代焊接生技术国家重点实验室, 黑龙江哈尔滨 1 0001) : 用等离子体浸没离子注入与沉积( PIIID)复合强化新技术在 AISI440C不锈钢表面制备了类金刚石( DLC)碳膜。膜层表 3 面的原子力显微镜 (AFM)形貌显示出DLC膜结构致密均匀。Ram an光谱分析结果表明, 制备的 DLC主要是由金刚石键( sp )和 2 3 石墨键( sp )组成的混合无定形碳膜, 且 sp 键含量大于 10% 。以纯石墨棒做阴极, C H 为工作气体条件下合成的DLC薄膜中, 2 2 3 3 sp 键含量总体上较单纯用石墨作阴极而无工作气体条件下合成的 DLC薄膜中 sp 键含量高。与基体相比, 薄膜试样的显微硬度和摩擦磨损性能均得到了较大改善, 最大硬度提高 8817% , 磨损寿命延长超过 4倍。 : 类金刚石碳膜(DLC); 等离子体浸没离子注入与沉积( PIIID); Ram an光谱; AISI440C不锈钢 : TG1741 44 : A : 100926264( 2010) 0220108206 M icrostructure and properties ofDLC fiml synth esized by p lasm a mi m ersion ion mi p lantation and deposition techn ique 1 1 1 2 LIU H ong2xi, JIANG Ye2hua, ZHOU Rong , TANG Bao2yin ( 1. Facu lty ofM echan ical a