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硅微机械悬浮结构电感的设计与制作工艺研究.pdf
第 期 电 子 学 报
11 Voi . 30 No . 11
年 月
2002 11 ACTA ELECTRONICA SINICA Nov . 2002
硅微机械悬浮结构电感的设计与制作工艺研究
丁 勇，刘泽文，刘理天，李志坚
（清华大学微电子学研究所，北京 100084 ）
摘 要： 本文系统分析了影响平面螺旋电感 值的主要因素，并制作出一种应用于射频通信的硅微机械悬浮
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结构电感 在考虑趋肤效应、涡流损耗等高频电磁场效应对电感 值的影响后，获得了微机械电感的简化电学模型，
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得到了具有较高 值电感的优化结构 在制作硅微机械电感的工艺过程中，采用多孔硅作为牺牲层材料，将螺旋结构
0 .
铝线圈制作在二氧化硅薄膜上，在使用添加了硅粉和过硫酸铵的TMAH 溶液释放牺牲层之后，得到设计值为4nH 的悬
浮结构微机械平面螺旋电感. 实验结果证明，整个工艺流程可靠，并与CMOS 工艺兼容.
关键词： 微机械；电感； 值；多孔硅；牺牲层
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中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： （ ）
TM55 TN305 A 0372-2112 2002 11-1597-04
Design and Fabrication of Silicon Micromachining Suspended lnductor
， ， ，
DING Yong LIU Ze-wen LIU Li-tian LI Zhi-jian
（ ， ， ， ）
Institute of Microelectronics Tsinghua Uniuersity Beij ing 100084 China
： （） ，
Abstract The factors which determine the guaiity O factor of pianar spirai inductor are presented in this paper and a tech-
noiogy to fabricate suspended MEMS devices for RF circuits is presented . A simpiified eiectricai modei is used to study the infiuence of
high-freguency magnetic fieids on the parasitica
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