气囊抛光曲面光学零件工艺参数对抛光区特征影响的研究.pdf

第32卷第3期 燕山大学学报 Vbl．32No．3 JournalofYanshan 2008 2008年5月 University May 007-791 97—04 文章编号：1 X(2008)03-01 气囊抛光曲面光学零件工艺参数对抛光区 特征影响的研究 龚金成1，谢大纲1，宋剑锋1，姚英学1 (1．哈尔滨工业大学机电工程学院，黑龙江哈尔滨150001) 摘 要：首先介绍了气囊抛光的原理，然后在自行研制的气囊抛光实验样机上，对曲面光学零件进行了抛光实 验，研究了进动角、气囊压缩量、气囊内部压力、气囊转速以及工件的曲率半径几个重要的工艺参数对球面光 学玻璃抛光区影响情况，总结了各工艺参数对抛光区的影响规律，给出了曲面光学零件工艺参数合理的抛光区 取值范围。 关键词：气囊抛光；工艺参数；抛光区 中图分类号：THl61+．1文献标识码：A 0 引言 的轴线和下臂轴线始终交于气囊抛光头的球心，气 囊高速旋转时实现对工件的抛光加工。工件在抛光 非球曲面光学零件因其具有优良的光学性能， 过程中可自转或是不动，也可以沿槲方向做匀 不仅在航天、航空等国防工业有着广泛的应用，而 速移动。 且非球面光学零件在军用和民用光电产品上的应 用也很广泛，如在摄影镜头和取景器、电视摄像 管、变焦镜头、电影放影镜头、卫星红外望远镜、 录像机镜头、录像和录音光盘读出头等方面应用“1。 气囊抛光工艺方法，是20世纪90年代伦敦光 学实验室提出来的一种新的非球面抛光方法伫训。气 囊式抛光技术不仅可以保证抛光头与被抛光工件 表面吻合性好，而且可以通过调节压力，控制抛光 效率和被抛光工件的表面质量，是一种具有发展潜 力的非球曲面抛光方法。 图1气囊抛光实验样机的结构图 哈尔滨工业大学对这种工艺方法进行了深入 Structureofbonnet Fig．1 polishingapparatus 研究，自行研制了气囊抛光实验样机，如图1所示， 在气囊抛光中，被加工光学元件的材料去除过 初步掌握了这种工艺方法晦1。工件进给机构由平面 二维平动运动机构和回转轴魄成，通过工件沿着 程是在抛光区内实现的。因此，研究气囊抛光接触 x，z向的运动和自身的转动来实现加工过程中工件 区的形状特点显得十分必要。本文在一系列凸球曲 面光学零件上进行了抛光实验，在此基础上重点研 相对气囊的进给运动；气囊“进动”机构由二自由 究了工艺参数，如进动角、气囊的压缩量、气囊的 度的串联机构组成，通过进动上转臂吼和进动下转 内部压力、气囊的转速、工件的曲率半径对曲面光 臂巩的合成运动实现气囊对加工点局部法线的跟 踪和气囊空问姿态的调节。在运动过程中进动上臂 学零件抛光接触区形状、尺寸面积影响规律，并且 收稿日期：2008·04·02 作者简介：龚金成(1981一)，男，甘肃定西人。硕士研究生。主要研究方向为精密、超精密加