基于TFCALC软件的薄膜偏光分束镜的设计.pdfVIP

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’*$ ’ $#(#) D 应用光学 D D$##(0$3’)!*$%*( vvg( p8756ft *.yy:89{@yq86p *57 文章编号!##$%$#$’$##()#%##*$%#* 基于+,-./-软件的薄膜偏光分束镜的设计 郝殿中 吴福全 李国华 孔伟金 0 0 0 曲阜师范大学 激光研究所 山东 曲阜 ’ 0 $123() 摘 要 根据 薄膜偏光分束镜的设计原理 利用膜系设计软件对偏光分束镜进行优化设计 ! 456789::9 0 ; 总结了偏光镜设计时参考波长 入射角以及膜层数随波长的变化规律 给出了 基底 和 0 $ 0 $ $ /5= ?@ A8@ 为高低膜料的薄膜偏光分束镜优化设计方案 为薄膜偏光分束镜的设计和镀膜工艺提供了参考依据 0 ; 关键词 薄膜 软件 优化设计 偏光分束镜 ! B B B 中图分类号 E 文献标识码 ! 2D(B **D* ! +C @ P FGHIHJKLMNOFGKMQKRS TNRUVKWKMLXHUSJYRKZZHV XUJH[NMFQ\]^\_NOZ‘UVH c 0 c 0 c 0 c a.@ b857def7g hi ,jkj57 /lmjfej5 =@nm h98o87 ’ 0 $123(0 ) +e9:5p9?87pq8qjq9frsjrjnf?t5:i78u9?p8qv sjrj -e875 ! 0 c ]wJZVUxZ +e9py:8qq87g6e5?56q9?qe5qqe9?9r9?9769z5u9:97gqe 8768{97q57g:957{qe97jt|9?frqe87r8:tp6e57g9z8qe c 0 z5u9:97gqe8p575:vp8p9{|5p9{f7456789::9qvy9qe87r8:t y?8pt |vjp87g+,-./-pfrqz5?9 ze86ez8::6f7q?8|jq9qfqe9 D fyq8t8d5q8f757{{9yfp8q8f7q96e7f:fgvfrqe8p}87{fry?8pt h9y?fyfp9{5fyq8t8d87g{9p8g7fr5yf:5?8d87g|95tpy:8qq9? D $ $ $ ze

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