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基于TFCALC软件的薄膜偏光分束镜的设计.pdf
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基于+,-./-软件的薄膜偏光分束镜的设计
郝殿中 吴福全 李国华 孔伟金
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曲阜师范大学 激光研究所 山东 曲阜
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摘 要 根据 薄膜偏光分束镜的设计原理 利用膜系设计软件对偏光分束镜进行优化设计
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总结了偏光镜设计时参考波长 入射角以及膜层数随波长的变化规律 给出了 基底 和
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为高低膜料的薄膜偏光分束镜优化设计方案 为薄膜偏光分束镜的设计和镀膜工艺提供了参考依据
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关键词 薄膜 软件 优化设计 偏光分束镜
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中图分类号 E 文献标识码
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