平行双关节坐标测量机圆光栅测角误差补偿技术.pdfVIP

第33卷 第 5期 南京理工大学学报(自然科学版) Vo1．33No．5 2009年 l0月 JournalofNamingUniversityofScienceandTechnology(NaturalScience) Oct．2009 平行双关节坐标测量机 圆光栅测角误差补偿技术 于连栋，丁 洋，程文涛 (合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院，安徽 合肥 230009) 摘 要：该文探讨 了一种三 自由度(DOF)平行双关节坐标测量机的测量原理和测量模型。分析了 该测量机上的圆光栅测角误差对测量机测量精度的影响，给 出了测角误差的补偿公式．利用该公 式优化 了测量机的测量模型。采用标准多面棱体和光电自准直仪对2个圆光栅的测角误差进行 实验检定，并对测角误差修正前后的平行双关节坐标测量机测量精度进行 了实验 比对。结果表 明，测量的极限偏差由0．033mm降至0．015mm，而标准差由0．0141mm降为0．0061mm，说明修 正2个圆光栅的测角误差可大幅提高该测量机的测量精度。 关键词：平行双关节；坐标测量机 ；圆光栅 ；误差补偿 中图分类号：TH115 文章编号 ：1005—9830(2009)05—0659—04 Compensation ofAngleM easurementErrorofCircularGratings forParallelDual-jointCoordinateMeasuringMachine YU Lian-dong，DING Yang，CHENG Wen—tao (SchoolofInstrumentScienceandOptoelectronicEngineering，HefeiUniversityof Technology，Hefei230009，China) Abstract：Thispaperinvestigatesthemeasurementprincipleandmodelofaparalleldual-jointcoordi— natemeasuringmachine(PD—CMM)whichhasthreedegreesofrfeedom (DOF)．Theinfluenceofthe anglemeasurementerrorsofthecirculargratingson themeasurementprecisionofPD-C·MM isana-— lyzed．Th eerrorcompensationequationsareanalyzed，andbasedontheequations，themeasurement modelofthePD-CMM isoptimized．Usinga multifaceted prism and an autocoltimator，theangle measurementerrorsofthetwocirculargratingsareinspected．ThemeasurementprecisionsofthePD— CMM afterandbeforetheerrorcompensationoftheanglemeasurementerrorsofthecirculargratings arecompared．Theresultsshowthatthelimitdeviationdecreasesrfom 0．033mm to0．015mm，and thestandarddeviationdecreasesfrom 0．0141mm to0．0061mm．TheprecisionofthePD—CMM can beextremelyimprovedbycorrectingtheanglemeasurementerrorsofthetwocircularrgatings． Keywords：praalleldual—joint；coordinatemeasuringmachines；circularrgatings；errorcompensation 收稿 日期：