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一种新型两维霍尔角度传感器研究,角度传感器种类,角度传感器,三维角度传感器,角度位移传感器,角度传感器工作原理,旋转角度传感器,角度传感器型号,霍尔角度传感器,角度传感器原理
2001 3 1
赖宗声, 蔡 彦, 景 圳, 贺德洪
( 华东师范大学电子科学技术系, 上海 200062)
郑筱莉
( 乌鲁木齐市成人教育学院物理系, 乌鲁木齐 830002)
: 本文研制 一种无触点的十字型两维集成垂直霍尔器件, 它对平行于芯片表面的
磁场敏感. 当与被测转角的物件轴向相固连的径向永久磁铁转动时, 平行于芯片表面的磁
场分量 x 、y 大小将发生相对变化, 以致集成的两对霍尔板输出电量也产生相应地变化. 这
B B
时传感器件给出 相对于被测量角度的两种信号电压( sin和cos) , 通过arctg n( V x / Vy )
可求得转角, 从而达到测量角度的目的. 测量结果表明利用该角度传感器件与PC 机组成
的测量系统其测量角度的精度可达±1°.
: 两维霍尔器件; 磁敏传感器; 非接触式角度测量
: TP212 : A : 1004-1699( 2001) 0 1-0014-04
1
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[ 3]
3D 3D 3D
: 2000-08-16
: ( 96-748-02-02) :
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图1( a) 水平平行板霍尔传感器示意图 图1( b) 垂直平行板霍尔传感器示意图
图1( ) 垂直霍尔板演变示意图 图1( ) 演变后垂直霍尔板结构示意图
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2001
16
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