一种新型声表面波温度传感器的研究.pdfVIP

清 华 大 学 学 报 ( 自 然 科 学 版) 263 1　 　1997 年 第 37 卷 Jou rn a l o f T singhu a U n iver sity (Sci T ech ) 第 11 期 第 100～ 103 页　 一种新型声表面波温度传感器的研究 李　源, 　冯冠平, 　丁天怀 清华大学 精密仪器与机械学系, 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084 文　摘　利用声表面波技术( su rface acou st ic w ave, SAW ) ( ) 一般为铝膜 等工艺在压电基片上制出叉指换能器 研究传感器, 能使传感器无源且易于实现遥测, 从而可以使 ID T ( in terd ig ita l t ran sdu cer) 、反射栅而形成。其主 其应用于某些普通传感器无法应用的特殊场合。研究设计了 要结构见图 1。 一种 SAW 无源温度传感器以及相应的遥测系统, 指出了其 采用的遥测系统类似于一个小型的雷达系统, 中的几项关键技术, 计算了该传感器的灵敏度。实验证实, 这 主要结构见图2。 种温度传感器及其系统是完全可行的。它不仅具有灵敏度 高、测温范围广等特点, 而且由于传感器的无源和遥测, 可望 用于转子温度测量等特殊场合。 关键词　传感器; 温度; 声表面波; 遥测 分类号　T P 2 12 随着声表面波 ( su rface acou st ic w ave, SAW ) 器件及其工艺的发展, 声表面波技术在传感器领域 中的应用研究也越来越得到重视。特别是近十几年 来, 对压力、温度、电压和气体等声表面波传感器的 图 1　传感器主要部分结构 研究均取得了重大进展[ 1～ 3 ] 。利用声表面波器件作 传感器除了具有灵敏度高、工艺简单、便于集成化和 批量生产、数字量输 出等特点外, 更重要 的由于 SAW 器件本身的高频特性及其器件基底的压电特 性可以使得传感器无源化和实现遥测。利用该原理 制得的无源传感器及其遥测系统除了具有上述优点 外, 还具有普通传感器所无法比拟的特殊优点: 如 可以用于转子的扭矩、温度动态监测, 易燃、易爆场 [4, 5 ] 合的状态检测等等。 目前美国、德国 均已开展这 一研究工作。本文作者设计了一种用于测量转子温 图2　无线遥测系统结构图 度的 SAW 无源传感器及其遥测系统, 并进行了实 　　由振荡器产生的射频信号经过开关调制后形成 验。 一矩形脉冲信号, 功率放大后, 由天线发射出去。传 1　原理及结构设计 感器接收到电磁波信号后, 经过天线和叉指换能器, SAW 无源传感器主要是利用光刻、真空镀膜 由基片的逆压电效应, 转换成同频声表面波。该声波 只沿基片表面传播, 到达反射栅后, 大部分能量被反 　　收稿 日期: 射回来, 通过换能器, 由基片的压电效应, 再次转变 　　第一作者: 男, 1970 年生, 博士研究生 成电磁波向空间发射。检测系统收到信号后, 再对信 　 国家自然科学基金资助项 目 号进行处理, 测出相