基于电容式MEMS器件的静电斥力驱动研究.pdf

第３５ 卷　第８期 仪 器 仪 表 学 报 Ｖｏｌ３５ Ｎｏ８ ２０１４年８月 Ｃｈｉｎｅｓｅ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Ａｕｇ．２０１４ 基于电容式ＭＥＭＳ器件的静电斥力驱动研究 １，２ １，２ １，２ １，２ １，２ 郭兴军 ，李朋伟 ，张文栋 ，胡　杰 ，李　刚 （１．太原理工大学信息工程学院微纳系统研究中心　太原 　０３００２４； ２．太原理工大学新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室　太原　０３００２４） 摘　要：“粘连”失效常见于电容式静电驱动ＭＥＭＳ器件，通过建立“粘连”失效模型分析得出静电引力驱动机制导致的介质充 电是其失效的根本原因。为消除介质充电问题，提出了一种新型的基于静电斥力的驱动机制：通过向固定极板施加电压，利用 驱动结构周围形成的不均匀电场在可动极板垂直方向上产生合力，使可动极板向上弯曲运动。结合静电斥力典型驱动结构，通 过ＣＯＭＳＯＬ Ｍｕｌｔｉｐｈｙｓｉｃｓ仿真分析结构尺寸、驱动电压与极板最大形变量的关系。仿真结果表明：在静电斥力结构中，驱动电压 与可动极板长度呈线性关系，但与垂直间距呈非线性关系，会出现突降。此外，在结构尺寸固定的情况下，驱动电压与极板最大 形变量几乎呈线性关系，这与静电引力驱动中无法通过改变驱动电压线性控制形变量不同。 关键词：电容式ＭＥＭＳ器件；介质充电；陷阱 中图分类号：ＴＮ４０３　ＴＨ７０３　　文献标识码：Ａ　　国家标准学科分类代码：５１０．１０３５ Ｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｏｎ ｏｎ ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ ｒｅｐｕｌｓｉｏｎ ｆｏｒ ｄｒｉｖｉｎｇ ｃａｐａｃｉｔｉｖｅ ＭＥＭＳ ｄｅｖｉｃｅｓ １，２ １，２ １，２ １，２ １，２ Ｇｕｏ Ｘｉｎｇｊｕｎ ，Ｌｉ Ｐｅｎｇｗｅｉ ，Ｚｈａｎｇ Ｗｅｎｄｏｎｇ ，Ｈｕ Ｊｉｅ ，Ｌｉ Ｇａｎｇ （１．ＭｉｃｒｏＮａｎｏ ＳｙｓｔｅｍＲｅｓｅａｒｃｈ Ｃｅｎｔｅｒ，Ｃｏｌｌｅｇｅ ｏｆＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｔａｉｙｕａｎ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， Ｔａｉｙｕａｎ０３００２４，Ｃｈｉｎａ；２．ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＡｄｖａｎｃｅｄ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒｓ ａｎｄＩｎｔｅｌｌｉｇｅｎｔ Ｃｏｎｔｒｏｌ，Ｓｈａｎｘｉ Ｐｒｏｖｉｎｃｅ ａｎｄＭｉｎｉｓｔｒｙ ｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎ，Ｔａｉｙｕａｎ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｔａｉｙｕａｎ０３００２４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｓｔｉｃｔｉｏｎ ｉｓ ａ ｍａｊｏｒｆａｉｌｕｒｅ ｍｏｄｅ ｉｎ ｍａｎｙ ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃａｌｌｙ ｄｒｉｖｅｎ ｃａｐａｃｉｔｉｖｅ ＭＥＭＳ ｄｅｖｉｃｅｓ．Ａ ｆａｉｌｕｒｅ ｍｏｄｅｌ ｉｓ ｂｕｉｌｔ；ａｎａｌｙｓｉｓ ｃｏｎｃｌｕｄｅｓ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｓｔｉｃｔｉｏｎ ｆａｉｌｕｒｅ ｄｕｅ ｔｏ ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ ｃｈａｒｇｉｎｇ ｉｓ ｍａｉｎｌｙ ｃａｕｓｅｄ ｂｙ ｔｈｅ ｄｒｉｖｉｎｇ ｍｅｃｈａｎｉｓｍ ｏｆ ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ ａｔｔｒａｃｔｉｏｎ．Ｔｏ ｅｌｉｍｉｎａｔｅ ｔｈｅ ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ ｃｈａｒｇｉｎｇｐｒｏｂｌｅｍ，ａｎｏｖｅｌｄｒｉｖｉｎｇｍｅｃｈａｎｉｓｍｂａｓｅｄｏｎｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃｒｅｐｕｌｓｉｏｎｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄ．Ｗｈｅｎａｂｉａｓｖｏｌｔａｇｅｉｓ ａｐｐｌｉｅｄ ｔｏｔｈｅｆｉｘｅｄｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓ，ａｎｏｎｕｎｉｆｏｒｍｅｌｅｃｔｒｉｃｆｉｅｌｄａｒｏｕｎｄｍｉｃｒｏ ａｃｔｕａｔｏｒｉｓｆｏｒｍｅｄａｎｄａｎｅｔｆｏｒｃｅ ｉｓｐｒｏｄｕｃｅｄｉｎ