基于虚拟仪器的薄膜电阻率自动测量系统.pdfVIP

Nn8 第29卷第8期 仪器仪 表 学 报 V01．29 0fscien曲cIn吼nI嗍t 2lD嘴年8月 oline坼J叫mal Aug．20吣 基于虚拟仪器的薄膜电阻率自动测量系统水 王一楠，江建军，别少伟 (华中科技大学电子科学与技术系武汉430074) 摘要：薄膜样品相比半导体材料，电阻更小且材质脆弱，现有的四探针电阻率测量设备无法满足其测量要求。双电测组合法基于薄 层原理，不需要尺寸修正，更适合应用于薄膜样品，且能适应小尺·_r样品的测量。fⅡ是双电测组合法需要在测量过程巾切换电路连接， 且修正函数计算繁复。虚拟仪器技术将测量设备和汁算机结合，编程完成测量过程和数据处理过程。本文介绍应用虚拟仪器技术实 现双电测组合法自动化薄膜电阻率测量系统的过程，结合测量结果说明系统性能以及环境参数对测量结果的影响。 关键词：薄膜电阻率；双电测组合法；虚拟仪器技术 中图分类号：皿216 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：510．80 VirtualiI卫stnm肥nta廿伽basedalltI姗ticth协f讪m Sh跗wei W锄gYinan，JiamgJianjun，Bie (及掣帕删矿觑喇ro，疵诒舭＆死曲r蝴，髓删舭愕研妇船毋矿切聊死也，咖，惭胁n彩(叼，‰) witII∞IIliconductorfilm haves瑚11er texture．E)【一 mat商al，thin resistivity锄d啪refh酶le A觚t：compaIing s舢ples four Ineasurementcouldnotfulfillthemeasurefnent oft11infilm istiIlgpmbe equipment requirements ofscalef如torandmoresuitablef打 methodisbasedonthin theinnuence figurationfour—pmbe layerprinciple，i印ores thin6lm it circuit intheme鹊urementand calculationindata samples，butrequiresswitching pmcesscomplex processing． de、，iceand tIlenleasurementanddata VisualimtmInent tllemeasurement integrates computer，and process p肛 techIlique Ill film measurementisintmduced． are under contml．tllis a“n resistiVity system cessingaccomplishedpmgram paper